- 主要特點(diǎn)-
LP-IM200皮米級干涉位移傳感器特點(diǎn)：
（1）、皮米級分辨率（1 pm）
（2）、測量帶寬高達(dá)2.5 MHz (10 MHz采樣率)
（3）、可通過3個平行激光進(jìn)行三維測量
（4）、可以測量大多數(shù)材料(塑料，玻璃，金屬，甚至水)
（5）、廣泛的傳感器頭可用于不同的應(yīng)用和環(huán)境(包括真空和低溫)
（6）、可擴(kuò)展到一個完整的實(shí)驗(yàn)室測量和控制儀器與可選模塊
-應(yīng)用領(lǐng)域-
LP-IM200皮米級干涉位移傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：
工業(yè)制造、生命科學(xué)、科學(xué)與基礎(chǔ)研究
- 技術(shù)規(guī)格-
LP-IM200皮米級干涉位移傳感器技術(shù)規(guī)格：
- 測量原理-
LP-IM200皮米級干涉位移傳感器測量原理：
基于邁克爾遜干涉儀，這是一種測量位移和振動的精確方法。邁克耳孫干涉儀由波長穩(wěn)定激光器、分束器、目標(biāo)和參考鏡組成。在分束器上，激光器發(fā)出的光被分成兩條臂。一臂指向目標(biāo)表面，另一臂指向參考鏡。兩臂的光分別被目標(biāo)面和參考鏡反射后，又返回到分束器。在這里，兩臂重組和干涉發(fā)生。干擾信號包含目標(biāo)表面相對于參考鏡的位移信息。
