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H-CVD-1200S 二硫化鉬CVD氣相沉積系統(tǒng)

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  • 型號(hào)H-CVD-1200S
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2023-07-28
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量43
  • 人氣值213
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上海翰軍實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司致力于與發(fā)展成為中國(guó)新材料制備領(lǐng)域的技術(shù)企業(yè)是由具備10多年研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)于2014年3月25日注冊(cè)成立,注冊(cè)資金1000萬(wàn)元。專(zhuān)業(yè)從事超高溫真空爐、 實(shí)驗(yàn)電爐、硬度計(jì)等材料制備檢測(cè)儀器的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售;以*的設(shè)計(jì)思路、的制作工藝和強(qiáng)大的科研實(shí)力為航天、 研究所、大學(xué)、企業(yè)從新材料研發(fā)到規(guī)模生產(chǎn)提供整體解決方案。2016年上海翰軍通過(guò)ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證 上海翰軍現(xiàn)有職工15人,專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員5人,高級(jí)顧問(wèn)4人(與科研單位合作)。他們?cè)诓牧?、機(jī)械電子、自動(dòng)化等方面有著高水平的專(zhuān)業(yè)知識(shí)和豐富的經(jīng)驗(yàn),為我司優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品提供了有力的技術(shù)保障。 上海翰軍坐落在美麗的經(jīng)濟(jì)之都上海市嘉定區(qū),占地面積1000余平方米,毗鄰G15高速公路和F1場(chǎng),東臨吳淞碼頭,南向虹橋機(jī)場(chǎng)、上?;疖?chē)站,交通十分便利,周邊配套環(huán)境完善,地理位置*。 上海翰軍憑借強(qiáng)大的技術(shù)團(tuán)隊(duì)和科研力量,堅(jiān)持走科技創(chuàng)新路線,秉持、 高品質(zhì),快速度”的服務(wù)標(biāo)準(zhǔn),以客戶滿意為目標(biāo),為廣大客戶奉上我們高質(zhì)量的產(chǎn)品和高水平的服務(wù), 我司研發(fā)生產(chǎn)的超高溫真空爐有: 2000℃真空熱壓爐、2400℃真空碳管爐,1600℃真空鉬絲爐,1800℃真空鎢絲爐等;并可根據(jù)喜戶需求定制各種非標(biāo)設(shè)備,以滿足航天,研究所和工廠企業(yè)的需求。 我司生產(chǎn)的實(shí)驗(yàn)電爐根據(jù)其功能有:高溫箱式爐、真空管式爐、真空氣氛箱式、快速退火爐、CVD系列、低濕低氧燒結(jié)系統(tǒng)、熔鹽電化學(xué)裝置等各種行業(yè)特種用爐,產(chǎn)品型號(hào)達(dá)上百種。 上海翰軍本著精誠(chéng)合作的原則,客戶的理念,真誠(chéng)的歡迎各界朋友到公司參觀交流。
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一、概述硫粉預(yù)熱器采用管內(nèi)測(cè)控溫以保證在250℃以下,穩(wěn)定控制硫蒸汽的蒸發(fā)時(shí)機(jī)和蒸發(fā)溫度
二硫化鉬CVD氣相沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

一、概述

硫粉預(yù)熱器采用管內(nèi)測(cè)控溫以保證在250℃以下,穩(wěn)定控制硫蒸汽的蒸發(fā)時(shí)機(jī)和蒸發(fā)溫度。真空機(jī)組裝有真空粉塵過(guò)濾器以保護(hù)機(jī)械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復(fù)合真空計(jì)(在1000Pa以上測(cè)量不受氣體種類(lèi)影響,耐硫蒸氣腐蝕),通過(guò)調(diào)節(jié)真空蝶閥的開(kāi)啟程度調(diào)節(jié)爐管內(nèi)壓力穩(wěn)定,在1200℃以下的工藝溫度穩(wěn)定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。

二、設(shè)備組成

HCVD-1200S雙溫區(qū)管式爐,HTF400C硫粉預(yù)熱器(雙溫區(qū)管式爐與預(yù)熱器可滑動(dòng)),質(zhì)量流量計(jì)供氣系統(tǒng),機(jī)械式真空泵等組成。

三、主要技術(shù)參數(shù)

硫粉預(yù)熱器

 

型號(hào):HTF-400C

工作溫度:350

溫度:400

升溫速率:30/min

推薦升溫速率:10/min

控溫方式:智能化30段可編程控制

工作電壓:AC220 V

額定功率:800W

控溫精度:±1

加熱元件:電阻絲

 

雙溫區(qū)硫化爐 

型號(hào):HCVD-1200S

技術(shù)參數(shù):

額定功率(KW):3

額定電壓(V):AC220v  50/60 Hz

溫度():12001 hour

持續(xù)工作溫度(℃):1100

升溫速率(℃/min):≤50

爐管尺寸(mm):

高純石英管Φ50×1500mm

加熱區(qū)長(zhǎng)度(mm):440mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度(mm:200mm  

控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度():±1

加熱元件:電阻絲

供氣系統(tǒng)GMF3Z

 

質(zhì)量流量計(jì)

重量:35Kg

外形尺寸:600x600x650mm

連接頭類(lèi)型:雙卡套不銹鋼接頭。

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2標(biāo)定)50sccm、200sccm500sccm; (可根據(jù)用戶要求定制)

準(zhǔn)確度:±1.5%

線性:±0.51.5%

重復(fù)精度:±0.2%

響應(yīng)時(shí)間:氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍:0.10.5 MPa

壓力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

顯示:4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體             

內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6

壓力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/ 

截止閥:Φ6

低真空機(jī)組VAU-02

 

技術(shù)參數(shù):

空氣相對(duì)濕度≤85%

工作電電壓:220V±10%  50~60HZ 

功率:1千瓦

抽氣速率:4L/s

極限真空:4X10-2Pa

實(shí)驗(yàn)真空度:1.0X10-1Pa

容油量:1.1L

進(jìn)氣口口徑:KF25

排氣口口徑:KF25

轉(zhuǎn)速:1450rpm

噪音:50dB

外型尺寸:450×180×240mm

配真空粉塵過(guò)濾器,DN25手動(dòng)蝶閥用于控制爐管內(nèi)壓力,INFICON PCG554復(fù)合真空計(jì)

 

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