等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)采用更大的腔室和等離子ALD模塊,獲得更好的原子層沉積效果。
等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)特點(diǎn)
腔室圓柱形和工程設(shè)計(jì)的流型均勻性。
適用于多種不同的基板和沉積材料。
出于安全目的，在分離的區(qū)域進(jìn)行前體、泵送、捕集和控制。
用戶友好且易于訪問所有組件
等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
不銹鋼腔室
具有4-8條不同前體（冷和熱）管線的前體進(jìn)料系統(tǒng)
配備快速氣動(dòng)閥的前體進(jìn)料系統(tǒng)。
多段溫度控制：前體、加熱夾套，范圍0-200ºC，分辨率1ºC腔室，范圍0-300ºC，分辨率1ºC–腔室的管道入口和出口，范圍0-150ºC，分辨率1ºC。
基本壓力為10-1/10-3毫巴。
工具尺寸，1000x600x1000mm。
帶觸摸屏的控制系統(tǒng)：
系統(tǒng)狀態(tài)信息：氣體流量、溫度、壓力和閥門。
過(guò)程監(jiān)控：壓力和溫度。偏差警報(bào)和安全鎖。
配方處理和實(shí)時(shí)監(jiān)控。
自動(dòng)蓋和人體工程學(xué)設(shè)計(jì)。視覺和聲音警報(bào)。
等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)特點(diǎn)
腔室圓柱形和工程設(shè)計(jì)的流型均勻性。
適用于多種不同的基板和沉積材料。
出于安全目的，在分離的區(qū)域進(jìn)行前體、泵送、捕集和控制。
用戶友好且易于訪問所有組件
等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
不銹鋼腔室
具有4-8條不同前體（冷和熱）管線的前體進(jìn)料系統(tǒng)
配備快速氣動(dòng)閥的前體進(jìn)料系統(tǒng)。
多段溫度控制：前體、加熱夾套，范圍0-200ºC，分辨率1ºC腔室，范圍0-300ºC，分辨率1ºC–腔室的管道入口和出口，范圍0-150ºC，分辨率1ºC。
基本壓力為10-1/10-3毫巴。
工具尺寸，1000x600x1000mm。
帶觸摸屏的控制系統(tǒng)：
系統(tǒng)狀態(tài)信息：氣體流量、溫度、壓力和閥門。
過(guò)程監(jiān)控：壓力和溫度。偏差警報(bào)和安全鎖。
配方處理和實(shí)時(shí)監(jiān)控。
自動(dòng)蓋和人體工程學(xué)設(shè)計(jì)。視覺和聲音警報(bào)。
