真空電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機CRTE & THE是成本效益的真空沉積鍍膜技術(shù)之一,熱蒸發(fā)在沉積有機材料如OLED（有機發(fā)光二極管）方面有許多應(yīng)用。
真空電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機特點
電拋光不銹鋼腔室（D形盒）
帶手動快門的前門上的4''直徑觀察口
匹配雙級旋轉(zhuǎn)葉片泵的渦輪分子真空泵系統(tǒng)
帶沉積控制器的石英晶體厚度傳感器
帶數(shù)字顯示和讀數(shù)的全量程真空計
最多四個帶獨立百葉窗的電阻熱源
半自動控制系統(tǒng)
真空電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機具有箱形或D形腔室，其數(shù)量與的源數(shù)量相同,標準真空系統(tǒng)是渦輪或低溫泵；也可使用帶有擴散泵的系統(tǒng)。
基板載物臺可將一個或多個樣品保持為平面或圓頂形狀，可旋轉(zhuǎn)也可不旋轉(zhuǎn)，簡單或傾斜角度，冷卻或加熱至800°C的水或液氮，適合在不破壞真空的情況下進行發(fā)射或更換掩模。真空電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機還生產(chǎn)PLC或PC控制系統(tǒng)，可以帶有或不帶有l(wèi)od鎖或手套箱。
真空電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機特點
電拋光不銹鋼腔室（D形盒）
帶手動快門的前門上的4''直徑觀察口
匹配雙級旋轉(zhuǎn)葉片泵的渦輪分子真空泵系統(tǒng)
帶沉積控制器的石英晶體厚度傳感器
帶數(shù)字顯示和讀數(shù)的全量程真空計
最多四個帶獨立百葉窗的電阻熱源
半自動控制系統(tǒng)
真空電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機具有箱形或D形腔室，其數(shù)量與的源數(shù)量相同,標準真空系統(tǒng)是渦輪或低溫泵；也可使用帶有擴散泵的系統(tǒng)。
基板載物臺可將一個或多個樣品保持為平面或圓頂形狀，可旋轉(zhuǎn)也可不旋轉(zhuǎn)，簡單或傾斜角度，冷卻或加熱至800°C的水或液氮，適合在不破壞真空的情況下進行發(fā)射或更換掩模。真空電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機還生產(chǎn)PLC或PC控制系統(tǒng)，可以帶有或不帶有l(wèi)od鎖或手套箱。
