HTMS-1000型高低溫方阻測試系統(tǒng)

一、產(chǎn)品介紹：

HTMS-1000型高低溫方阻測試系統(tǒng)是一款用于測量半導(dǎo)體薄膜和薄片的導(dǎo)電性能的測試系統(tǒng)，產(chǎn)品應(yīng)用范圍廣,能夠滿足導(dǎo)電功能薄膜材料、半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電玻璃材料、石墨烯等其它導(dǎo)電材料的測試需求；可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率，可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線?？梢栽诟邷亍⒄婵諝夥盏臈l件下測量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率，可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線。

一、產(chǎn)品主要特點：

1.產(chǎn)品采用高精度源表設(shè)計，測試范圍寬，測量精度高，能夠?qū)崿F(xiàn)電阻率、電導(dǎo)率的測量

2.控溫范圍廣，可以從室溫到-1000度可控

3.可實現(xiàn)常溫、高溫、恒溫條件的測試，具備I-V、R-T、R-t等測試項目

4.最慢升溫速率不低于10℃/min，且升溫速率從0至Z高升溫速率線性可調(diào)；

5.具備加熱故障監(jiān)視診斷功能，需保證使用過程的安全；

6.支持實時測試結(jié)果顯示，帶USB接口，方便數(shù)據(jù)拷貝與傳輸；

二、產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)：

1、控溫范圍；-150 ℃-1000 ℃，精度：-150 ℃-1000 ℃，精度±1 ℃

2、測量范圍：電  阻：1×10-6～1×10-1 Ω   ， 分辨率：1×10-7Ω

電阻率：1×10-7～1×10-2 Ω-mm， 分辨率：1×10-8

3、 材料尺寸：200mm*5mm*1mm,500mm*5mm*1mm,1000mm*5mm*1mm

4、 四線探針；0.5 mm-0.7mm 

5、夾具：針對不同的樣品可以設(shè)計不同的夾具

6、外形尺寸：主   機  1300mm（長）×800 mm（寬）×500mm（高）

7、凈   重：≤60kg