這款二維線性XY平移臺是采用光學(xué)編碼器的電控高精度直驅(qū)平移臺,提供零反沖高精度平移運(yùn)動,非常適合用作二維載物臺等重復(fù)性掃描定位平移應(yīng)用。
二維線性XY平移臺采用線性非接觸式光學(xué)編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達(dá)亞納米級分辨率。
二維線性XY平移臺采用自然老化鋁合金確保了平移臺高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及優(yōu)良的長周期運(yùn)動,導(dǎo)軌系統(tǒng)不會發(fā)生漂移。
二維線性XY平移臺可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶要求提供高真空直驅(qū)平移臺。
二維線性XY平移臺可以輕松地直接連接到光學(xué)平臺上,可直接安裝搭建成電動XY二維平移臺,無需使用任何連接板,也可按要求提供垂直Z軸平移臺。
二維線性XY平移臺還可以安裝到花崗巖龍門架或高精度平臺上實(shí)現(xiàn)高精度平移定位。
二維線性XY平移臺特點(diǎn)
超低剖面超薄設(shè)計(jì)
分辨率高達(dá)1nm
直接驅(qū)動無返程系統(tǒng)
高分辨率非接觸式光學(xué)編碼器
高精度線性導(dǎo)向和運(yùn)載系統(tǒng)
速度高達(dá)1200mm/s
超長使用壽命
方便集成到各種平臺或光學(xué)機(jī)械系統(tǒng)中
二維線性XY平移臺規(guī)格參數(shù)
1) 默認(rèn)為x4轉(zhuǎn)PPR-脈沖數(shù)/每轉(zhuǎn)，模擬SIN/COS編碼器接口
2)精度和雙向重復(fù)定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測量計(jì)算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關(guān)儀器測試,電子自相關(guān)儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環(huán)境誤差1µrad.
4) 速度由編碼器限制和驅(qū)動器CUT-OF頻率以及導(dǎo)向系統(tǒng)限制.
5)加速度由驅(qū)動器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負(fù)載能力由導(dǎo)向系統(tǒng)決定.
7) 運(yùn)動質(zhì)量是系統(tǒng)常數(shù)m0,通常是沒有負(fù)載時的慣性。
8) 推薦的控制器和驅(qū)動器有助于發(fā)揮電動平移臺的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶的占空比和負(fù)載來選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動或被動LCMv2接口.
11) 可組成正交性能更好的XY二維電動位移臺系統(tǒng).
12) 標(biāo)量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
13) 平移臺包括特殊封蓋,可用于灰塵嚴(yán)重或濕度較大的環(huán)境。
二維線性XY平移臺采用線性非接觸式光學(xué)編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達(dá)亞納米級分辨率。
二維線性XY平移臺采用自然老化鋁合金確保了平移臺高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及優(yōu)良的長周期運(yùn)動,導(dǎo)軌系統(tǒng)不會發(fā)生漂移。
二維線性XY平移臺可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶要求提供高真空直驅(qū)平移臺。
二維線性XY平移臺可以輕松地直接連接到光學(xué)平臺上,可直接安裝搭建成電動XY二維平移臺,無需使用任何連接板,也可按要求提供垂直Z軸平移臺。
二維線性XY平移臺還可以安裝到花崗巖龍門架或高精度平臺上實(shí)現(xiàn)高精度平移定位。
二維線性XY平移臺特點(diǎn)
超低剖面超薄設(shè)計(jì)
分辨率高達(dá)1nm
直接驅(qū)動無返程系統(tǒng)
高分辨率非接觸式光學(xué)編碼器
高精度線性導(dǎo)向和運(yùn)載系統(tǒng)
速度高達(dá)1200mm/s
超長使用壽命
方便集成到各種平臺或光學(xué)機(jī)械系統(tǒng)中
二維線性XY平移臺規(guī)格參數(shù)
| 型號 | 8MTLF250XY-2L-2U-4LEn1 | 8MTLF250XY-1L-2U-3LEn1 | 8MTLF250XY-2L-1U-3LEn1 | 8MTLF250XY-1L-1U-2LEn1 |
| 運(yùn)動學(xué)部分參數(shù) | ||||
| 行程范圍 | 250 x 250mm | |||
| 編碼器類型 | 光學(xué)編碼器 | |||
| 編碼器型號 | LEN1 | |||
| 編碼器分辨率 | ||||
| 編碼器接口 | 差分接口RS422 | |||
| 內(nèi)部放大器 | YES | |||
| 放大系數(shù) 1) | 4-200 (按要求提供) | |||
| 編碼器光柵周期 | 20µm | |||
| 參考標(biāo)記 | Yes | |||
| 精度 2) | ||||
| 校準(zhǔn)前, | ±5µm | ±6µm | ||
| 校準(zhǔn)后, µm | ±1.5µm | ±2µm | ||
| N/A | ||||
| 雙向重復(fù)定位精度(peak-peak)2) | ±0.25µm | ±0.5µm | ||
| 雙向重復(fù)定位精度(RMS) 2) | ±0.15µm | ±0.30µm | ||
| Pitch 3) | ±30 / ±6.20 µrad / arcsec | |||
| Yaw 3) | ±30 / ±6.20 µrad / arcsec | |||
| Roll | N/A | |||
| 速度(負(fù)載4kg) 4) | <1500mm/s | |||
| 加速度(負(fù)載4kg) 5) | <20000mm/s2 | |||
| 限位開關(guān)類型(Safety) | Hall Sensors | |||
| 限位開關(guān)極性(Safety) | Pushed is closed | |||
| 限位開關(guān)電壓 | 5…24V | |||
| 負(fù)載和導(dǎo)向部分參數(shù) | ||||
| 位移臺類型 | Real Gantry (MIMO) | Planar-Gantry Hybrid | Planar | |
| 線性電機(jī)型號 | LM5 | |||
| 線性電機(jī)類型 | Ironless BLDC motor | |||
| Bus Voltage | >300VDC | |||
| 電機(jī)數(shù)量 | 4 | 3 | 2 | |
| 負(fù)載 (中心位置加載) 6) | ||||
| 水平負(fù)載 | 30kg | |||
| 豎直負(fù)載 | N/A | |||
| 運(yùn)動質(zhì)量 7), | ||||
| X (底部), kg | 39.1kg | 37.8kg | 34.4kg | 33.9kg |
| Y (上部), kg | 7.5kg | 7.1kg | 7.5kg | 7.1kg |
| 導(dǎo)向系統(tǒng) | Recirculating linear rails and carriages units with caged balls | |||
| Material & Environment Conditions | ||||
| Housing Material | Aluminum Alloy | |||
| Housing Coating (Finish) | Black Anodizing | |||
| Environment Pressure | Normal Atmosphere | |||
| Operating Temperature, °C | 20±2 | |||
| Control, Communication and Cabling | ||||
| Recommended Controllers 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series | |||
| Recommended Drivers 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series | |||
| Recommended Power Supply 9) | 2 phase / 3 phase source | |||
| Recommended Communication Interface 12) | EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP | |||
| Cable Length, m | 2 (other by request) | |||
| Differential Outputs 10) | On request | |||
| Accessories Information | ||||
| Base Plate for Mechanical Interface | Granite is recomended | |||
| Z Configuration | Not available (choose from other Standa stages series) | |||
| Additional Details | ||||
| Dimensions of Moving Platform (W x L), mm | 430 x 430 | |||
| Overall Linear Stage Dimensions (W x L x H), mm | 746 x 746 x 106 | |||
| Measurement System | Metric/Imperial | |||
| Orthogonality11), µrad / arcsec | 24 / 5 | |||
| Protection Level | Request support | |||
| RoHS | Compliant | |||
| Weight, kg | ~68 | |||
2)精度和雙向重復(fù)定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測量計(jì)算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關(guān)儀器測試,電子自相關(guān)儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環(huán)境誤差1µrad.
4) 速度由編碼器限制和驅(qū)動器CUT-OF頻率以及導(dǎo)向系統(tǒng)限制.
5)加速度由驅(qū)動器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負(fù)載能力由導(dǎo)向系統(tǒng)決定.
7) 運(yùn)動質(zhì)量是系統(tǒng)常數(shù)m0,通常是沒有負(fù)載時的慣性。
8) 推薦的控制器和驅(qū)動器有助于發(fā)揮電動平移臺的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶的占空比和負(fù)載來選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動或被動LCMv2接口.
11) 可組成正交性能更好的XY二維電動位移臺系統(tǒng).
12) 標(biāo)量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
13) 平移臺包括特殊封蓋,可用于灰塵嚴(yán)重或濕度較大的環(huán)境。
