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這款萬(wàn)向旋轉(zhuǎn)傾斜臺(tái)是采用直驅(qū)電機(jī)制造的萬(wàn)向載物臺(tái)和萬(wàn)向工作臺(tái),具有傾斜和旋轉(zhuǎn)功能提供萬(wàn)向定位,廣泛用作3D激光打印萬(wàn)向載物臺(tái)和微納制造萬(wàn)向工作臺(tái)架

萬(wàn)向旋轉(zhuǎn)傾斜臺(tái) 光學(xué)表面分析儀產(chǎn)品詳情

這款萬(wàn)向旋轉(zhuǎn)傾斜臺(tái)是采用直驅(qū)電機(jī)制造的萬(wàn)向載物臺(tái)和萬(wàn)向工作臺(tái),具有傾斜和旋轉(zhuǎn)功能提供萬(wàn)向定位,廣泛用作3D激光打印萬(wàn)向載物臺(tái)和微納制造萬(wàn)向工作臺(tái)架。
萬(wàn)向旋轉(zhuǎn)傾斜臺(tái)采用3相無(wú)鐵線性無(wú)刷伺服電機(jī)BLDC技術(shù),為用戶(hù)帶來(lái)零反沖高精度萬(wàn)向傾斜旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),具有*精度高,重復(fù)精度高和摩擦低的特點(diǎn)。
萬(wàn)向旋轉(zhuǎn)傾斜臺(tái)采用線性非接觸式光學(xué)編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達(dá)亞納米級(jí)分辨率。
萬(wàn)向旋轉(zhuǎn)傾斜臺(tái)采用自然老化鋁合金確保了萬(wàn)向節(jié)臺(tái)高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及優(yōu)良的長(zhǎng)周期運(yùn)動(dòng),導(dǎo)軌系統(tǒng)不會(huì)發(fā)生漂移。
萬(wàn)向旋轉(zhuǎn)傾斜臺(tái)可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶(hù)要求提供高真空萬(wàn)向傾斜旋轉(zhuǎn)臺(tái)。
萬(wàn)向旋轉(zhuǎn)傾斜臺(tái)可以輕松地直接連接到光學(xué)平臺(tái)上,也可與直驅(qū)線性平移臺(tái)搭建成電動(dòng)4軸定位平臺(tái)系統(tǒng),非常適合微納制造。
萬(wàn)向旋轉(zhuǎn)傾斜臺(tái)還可以安裝到花崗巖龍門(mén)架或高精度平臺(tái)上實(shí)現(xiàn)高精度萬(wàn)向定位。

萬(wàn)向旋轉(zhuǎn)傾斜臺(tái)規(guī)格參數(shù)

傾斜軸向	Tilt (A) Axis	Yaw (B) Axis
運(yùn)動(dòng)學(xué)和反饋系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
角度范圍	±130度	±360度 (無(wú)限)
編碼器類(lèi)型	光學(xué)編碼器
編碼器型號(hào)	LEN2
編碼器分辨率 ¹⁾	0.023~0.184arcsec
編碼器接口	差分RS422 或模擬SIN/COS
內(nèi)部放大倍數(shù)	YES (optionally analog SIN/COS)
放大系數(shù)	4-200 (on demand)
Encoder Grating Period	20µm
Reference Mark (Index)	Yes
Absolute Accuracy ²⁾
Before Calibration	±218 / ±45.00 µrad / arcsec
After Calibration	±14.54 / ±3.00 µrad / arcsec
Uni-Directional Repeatability, µrad / arcsec	N/A
Bi-Directional Repeatability (peak to peak) ²⁾	±7.30 / ±1.50 µrad / arcsec
Bi-Directional Repeatability (RMS) ²⁾	±2.90 / ±0.60 µrad / arcsec
偏心率Eccentricity ³⁾	±5.00 µm
擺動(dòng)Wobble ³⁾	±19.40 / ±4.00 µrad / arcsec
Maximum Velocity (no load, @300VDC) ⁴⁾	<9000 / 1500 deg/s / RPM
Maximum Acceleration (no load) ⁵⁾	1080000 / 180 deg/s² / kRPM/s²
Maximum torque (continuous)⁵⁾	5.4Nm
Limits Switches	N/A
Load, Guiding & Transmission Information
Design Type	Torque Motor (Direct-Drive) Two-Axis Rotation (Gimbal) Stage
Motor Model	TM1
Motor Design Type	Torque Motor
Maximum Bus Voltage, V_DC	<320
Load Capacity (Centrally Placed) ⁶⁾
Horizontal	1kg
Vertical	1kg
Moving Mass ⁷⁾	6.6kg	1.55kg
Guiding System	Crossed roller bearings
Material & Environment Conditions
Housing Material	Aluminum Alloy
Housing Coating (Finish)	Black Anodizing
Environment Pressure	Normal Atmosphere
Operating Temperature, °C	20±2
Control, Communication and Cabling
Recommended Controllers ⁸⁾	ACS Products Line or 8SMC5-USB series
Recommended Drivers ⁸⁾	ACS Products Line or 8SMC5-USB series
Recommended Power Supply ⁹⁾	2 phase / 3 phase source
Recommended Communication Interface ¹¹⁾	EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP
Cable Length, m	2 (other by request)
Differential Outputs ¹⁰⁾	On request
Accessories Information
Base Plate for Mechanical Interface	Not required
Additional Details
Magnetic Brake	Yes	No
Dimensions of Moving Platform	Ø90mm
Central Aperture	N/A	Ø15mm
Overall Linear Stage Dimensions (W x L x H)	149 x 349 x 161mm (entire system)
Measurement System	Metric / Imperial (Base)
RoHS	Compliant
Weight, kg	12.3kg (entire system)

1) 默認(rèn)為x4轉(zhuǎn)PPR-脈沖數(shù)/每轉(zhuǎn)，模擬SIN/COS編碼器接口
2)精度和雙向重復(fù)定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測(cè)量計(jì)算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關(guān)儀器測(cè)試,電子自相關(guān)儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環(huán)境誤差1µrad.
4) 速度由編碼器限制和驅(qū)動(dòng)器CUT-OF頻率以及導(dǎo)向系統(tǒng)限制.
5)加速度由驅(qū)動(dòng)器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負(fù)載能力由導(dǎo)向系統(tǒng)決定.
7) 運(yùn)動(dòng)質(zhì)量是系統(tǒng)常數(shù)m₀,通常是沒(méi)有負(fù)載時(shí)的慣性。
8) 推薦的控制器和驅(qū)動(dòng)器有助于發(fā)揮電動(dòng)平移臺(tái)的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶(hù)的占空比和負(fù)載來(lái)選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動(dòng)或被動(dòng)LCMv2接口.
11) 標(biāo)量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。

關(guān)鍵詞：通訊接口

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產(chǎn)品名稱(chēng)	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱(chēng)	更新時(shí)間
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