這款三維中空壓電掃描臺(tái)是為壓電掃描定位設(shè)計(jì)的XYZ中空壓電掃描平臺(tái)和三維中空壓電定位臺(tái),廣泛用于掃描探針顯微鏡壓電掃描,原子力顯微鏡壓電掃描和微納操作,非常在開放和閉環(huán)系統(tǒng)中的光學(xué)元件壓電掃描定位和掃描探針壓電掃描應(yīng)用。
三維中空壓電掃描臺(tái)活動(dòng)的中心部件掛在柔性彈簧上，由壓電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)，確保了應(yīng)用的高剛度和高穩(wěn)定性。三維中空壓電掃描臺(tái)的設(shè)計(jì)為運(yùn)動(dòng)提供了的線性和平整度，與經(jīng)典的采用壓電陶瓷管的壓電掃描臺(tái)相比具有更高機(jī)械強(qiáng)度。
三維中空壓電掃描臺(tái)配備了電容位移傳感器，包括在數(shù)字反饋鏈系統(tǒng)內(nèi)，進(jìn)行數(shù)字閉環(huán)控制。它提供了高精度和線性運(yùn)動(dòng)，消除了對(duì)壓電陶瓷的蠕變效應(yīng)。測(cè)量電容傳感器的TDC芯片（時(shí)間數(shù)字轉(zhuǎn)換器），安裝柱離傳感器最近的位置，發(fā)出電子信號(hào)與測(cè)量得的電容成正比。這樣可以將外部噪音的影響還可以使用長(zhǎng)電纜連接到控制器。

三維中空壓電掃描臺(tái)特點(diǎn)
雙電容傳感器反饋技術(shù)
低頻噪聲電阻
補(bǔ)償壓電陶瓷的蠕變效應(yīng)
水平方向上掃描位移行程200µM
垂直方向位移行程20µM
超高分辨率，為0.1nm
中空孔徑高達(dá)45mm
低成本
設(shè)計(jì)緊湊，重量輕，剛度高
是顯微鏡應(yīng)用的理想中空壓電掃描臺(tái)
通用性強(qiáng)
具有真空壓電掃描臺(tái)型號(hào)
三維中空壓電掃描臺(tái)應(yīng)用
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計(jì)量學(xué)應(yīng)用
生物學(xué)研究
電子學(xué)應(yīng)用
微操作等。
三維中空壓電掃描臺(tái)產(chǎn)品規(guī)格
運(yùn)動(dòng)特性
主動(dòng)軸 XYZ
XY運(yùn)動(dòng)范圍 200 x 200µm
Z軸運(yùn)動(dòng)距離 20µm
分辨率（閉環(huán)） 1nm
分辨率（開環(huán)） 0.1nm
整范圍內(nèi)的角度傾斜 ＜0.01°
掃描速度 10Hz
控制性能
XY軸電容量 10pF
Z軸電容量 10pF
機(jī)械性能
中空通孔直徑 45mm
諧振頻率Z軸 3KHz
諧振頻率XY軸 1KHz
負(fù)載能力 100g
操作溫度范圍 - 40~80°C
尺寸 100x100x35mm
材料 鋁