這款Z軸納米物鏡自動(dòng)聚焦臺(tái)是壓電物鏡自動(dòng)對(duì)焦臺(tái),廣泛用于3D共聚焦顯微鏡物鏡納米自動(dòng)聚焦定位,可以得到各種物體的完整三維激光共聚焦圖像。
Z軸納米物鏡自動(dòng)聚焦臺(tái)適合在Z軸上移動(dòng)和定位。特別是沿光軸移動(dòng)透鏡,對(duì)應(yīng)樣品表面或樣品對(duì)象觀察聚焦位置變化。這種*的技術(shù)還適合3D激光共聚焦顯微鏡自動(dòng)聚焦。與XY工作臺(tái)聯(lián)合在XY平面中使用，這樣*的Z軸納米物鏡自動(dòng)聚焦臺(tái)可以得到各種物體的完整三維激光共聚焦圖像。并且，Z軸納米物鏡自動(dòng)聚焦臺(tái)雖然只可以移動(dòng)顯微鏡透鏡，但是沒有使用受限。

Z軸納米物鏡自動(dòng)聚焦臺(tái)活動(dòng)的中心部件掛在柔性彈簧上,由壓電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)確保了應(yīng)用的高剛度和高穩(wěn)定性。Z軸納米物鏡自動(dòng)聚焦臺(tái)設(shè)計(jì)為運(yùn)動(dòng)提供了的線性和平整度,與經(jīng)典的采用壓電陶瓷管的掃描儀相比，它的掃描表面是球形。與脆弱的壓電管相比,平行平面納米掃描臺(tái)具有高機(jī)械強(qiáng)度。
Z軸納米物鏡自動(dòng)聚焦臺(tái)配備了電容位移傳感器，包括在數(shù)字反饋鏈系統(tǒng)內(nèi)，進(jìn)行數(shù)字閉環(huán)控制。它提供了高精度和線性運(yùn)動(dòng)，消除了對(duì)壓電陶瓷的蠕變效應(yīng)。測(cè)量電容傳感器的TDC芯片（時(shí)間數(shù)字轉(zhuǎn)換器），安裝柱離傳感器最近的位置，發(fā)出電子信號(hào)與測(cè)量得的電容成正比。這樣可以將外部噪音的影響還可以使用長(zhǎng)電纜連接到控制器。
Z軸納米物鏡自動(dòng)聚焦臺(tái)特點(diǎn)
雙電容傳感器反饋技術(shù)
低頻噪聲電阻
補(bǔ)償壓電陶瓷的蠕變效應(yīng)
垂直方向上的位移行程100µM
超高分辨率，為0.1nm
可以負(fù)載的樣品重量高達(dá)300g
低成本
設(shè)計(jì)緊湊，重量輕，剛度高
是顯微鏡應(yīng)用的理想定位裝置
通用性強(qiáng)
具有真空型號(hào)
Z軸納米物鏡自動(dòng)聚焦臺(tái)使用通用控制器8NSC-3000 和8NSC-1000，或是NSpec軟件控制 8NTS-Z壓電工作臺(tái)。
Z軸納米物鏡自動(dòng)聚焦臺(tái)應(yīng)用
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計(jì)量學(xué)應(yīng)用
生物學(xué)研究
電子學(xué)應(yīng)用
微操作等
Z軸納米物鏡自動(dòng)聚焦臺(tái)規(guī)格
運(yùn)動(dòng)特性
主動(dòng)軸 Z軸
Z軸行程 60µm或100µm
分辨率（閉環(huán)） 1nm
分辨率（開環(huán)） 0.1nm
整范圍內(nèi)的角度傾斜 ＜0.01°
掃描速度 10Hz
Z軸電容 15pF
諧振頻率Z軸 0.5KHz
負(fù)載能力 300g
工作溫度范圍 -40~80°C
尺寸 108 x 73 x 67.5 mm
材料 鋁