電控三維位移臺3D/4D-stage是專業(yè)為激光光學(xué)安裝固定設(shè)計的電控XYZ位移臺,并且可在三軸位移臺基礎(chǔ)上加上旋轉(zhuǎn)臺組成四軸位移臺功能。
電控三維位移臺采用三個電控直線線性位移臺組成,可以增選一個電控旋轉(zhuǎn)臺用于θ軸旋轉(zhuǎn)。三維位移臺組成XYZ維的位移,可提供行程距離有25mm、100mm或200mm,每個軸可以獨立選擇。
圖1：電控三維位移臺實物圖3D-stage
三個XYZ三維線性位移臺采用閉環(huán)直流伺服電機(jī),交叉滾筒軸承,高精度絲桿和高分辨率定位反饋編碼器控制,從而保證了位移臺平滑和精確的運動。與其它工作臺一樣，這些電控三維位移臺可以極慢的速度均勻移動，電控三維位移臺提供各種速度/精度選項,也可訂制3D/4D位移臺系統(tǒng),通常通過一個適配板把各個位移臺組裝在一起。
電控三維位移臺可以使用各種各樣的控制器，這些控制器和工作臺可以相互兼容,推薦使用自由的MS2000位移控制器，可自動糾偏，并可通過RS-232或USB連接與上機(jī)位進(jìn)行通訊。
電控三維位移臺參數(shù)
*注：采用1.59 mm螺距的絲杠（16TPL）
電控三維位移臺絲杠附件
注：采用旋轉(zhuǎn)編碼器和6.35毫米螺距絲桿
圖2：電動四維位移臺4D-stage俯視圖（由XYZ三維位移臺+旋轉(zhuǎn)臺構(gòu)成）
電控三維位移臺采用三個電控直線線性位移臺組成,可以增選一個電控旋轉(zhuǎn)臺用于θ軸旋轉(zhuǎn)。三維位移臺組成XYZ維的位移,可提供行程距離有25mm、100mm或200mm,每個軸可以獨立選擇。
圖1：電控三維位移臺實物圖3D-stage
三個XYZ三維線性位移臺采用閉環(huán)直流伺服電機(jī),交叉滾筒軸承,高精度絲桿和高分辨率定位反饋編碼器控制,從而保證了位移臺平滑和精確的運動。與其它工作臺一樣，這些電控三維位移臺可以極慢的速度均勻移動，電控三維位移臺提供各種速度/精度選項,也可訂制3D/4D位移臺系統(tǒng),通常通過一個適配板把各個位移臺組裝在一起。
電控三維位移臺可以使用各種各樣的控制器，這些控制器和工作臺可以相互兼容,推薦使用自由的MS2000位移控制器，可自動糾偏，并可通過RS-232或USB連接與上機(jī)位進(jìn)行通訊。
電控三維位移臺參數(shù)
| 技術(shù)參數(shù) | 尺寸 |
| 編碼器分辨率* | 5.5 nm |
| 線性編碼器 | 10 nm |
| RMS重復(fù)精度（典型） | < 0.7 μm |
| 采用線性編碼器重復(fù)精度（典型） | 200 nm |
| 絲桿精度 | 0.25 μm/mm |
| 采用線性編碼器后的絲杠精度 | ± 3 μm/length scale |
| 速度* | 1.75 mm/sec |
| 行程范圍 | 25~100mm |
電控三維位移臺絲杠附件
| 絲桿螺距選擇 | 旋轉(zhuǎn)編碼器分辨率 | 速度 |
| 25.40 mm (極粗) | 88 nm | 28 mm/sec |
| 12.70 mm (超粗) | 44 nm | 14mm/sec |
| 6.35 mm (標(biāo)準(zhǔn)) | 22 nm | 7 mm/sec |
| 1.59 mm (細(xì)) | 5.5 nm | 1.75mm/sec |
| 0.635 mm (極細(xì)) | 2.2 nm | 0.7mm/sec |
圖2：電動四維位移臺4D-stage俯視圖（由XYZ三維位移臺+旋轉(zhuǎn)臺構(gòu)成）
