Joule Yacht 紅外退火爐 IRLA 產(chǎn)品特點(diǎn)
采用國(guó)外品牌部件:循環(huán)水路設(shè)計(jì),帶過(guò)濾部件,延長(zhǎng)清洗爐體水路;紅外燈管壽命高達(dá)5000小時(shí),峰值波長(zhǎng)約為1.25微米,爐體工藝鏡面拋光。
高精度控溫:模糊邏輯PID控溫,控溫精度可達(dá)±0.1℃。
快速控溫:高能流密度紅外燈設(shè)計(jì),24秒內(nèi)儀器可快速升溫至1150℃;同時(shí),爐體的熱容小,配合*的冷卻系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)快速降溫。
異常報(bào)警保護(hù):超溫和流量異常時(shí)均會(huì)自動(dòng)切斷加熱,保護(hù)爐膛,達(dá)到報(bào)警的效果。
潔凈控溫:非電阻爐加熱,無(wú)絕熱保溫材料,更適合在潔凈環(huán)境中使用。
可擴(kuò)展性:帶觀察窗,可配CCD,采集光學(xué)信號(hào);預(yù)留接口,可加載電學(xué)測(cè)量模塊等。
Joule Yacht 紅外退火爐 IRLA 應(yīng)用功能
強(qiáng)誘導(dǎo)體薄膜的結(jié)晶化退火
注入離子后的擴(kuò)散退火
半導(dǎo)體材料的燒成與退火條件研究
快速熱退火、熱氧化和熱氮化
電極合金化
晶向化和堅(jiān)化
石墨烯等氣相沉積
碳納米管等外延生長(zhǎng)
單晶基板熱處理
紅外退火爐技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | IRLA-1200 |
溫度范圍 | RT~1150℃ |
溫控精度 | ±0.1℃ |
大升溫速率 | 45℃/s (真空),40℃/s (氮?dú)? |
測(cè)試氣氛 | 真空, N2 ,惰性氣體 |
大樣品尺寸 | 20 x 20 x 2,單位mm(大) |
處理材料類型 | 薄膜、粉體、塊體、液體 |
溫度傳感器 | 標(biāo)準(zhǔn)K型熱電偶 |
額定功率 | 4x(1KW-110V/根) |
溫度程序模式 | 溫度-時(shí)間設(shè)置,256步,32個(gè)程序,循環(huán)、保溫等功能模糊PID邏輯控溫,手動(dòng)/自動(dòng)開(kāi)始,USB485連接 |
外觀尺寸 | 420X320X220,單位mm |
重量 | 20.5kg |
溫升曲線圖(1150℃)