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儀表網(wǎng)>全部分類 >測量/計量 >表面測量儀器 >臺階儀 返回產(chǎn)品中心
臺階儀

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時,還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號。經(jīng)放大與相敏整流后,可將位移信號從調(diào)幅信號中解調(diào)出來,得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號

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適用行業(yè)
  • 摘要NS系列臺階儀測量柔性電子器件薄膜厚度可用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。應(yīng)用場景適應(yīng)性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企...

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  • 摘要 中圖儀器NS系列觸控面板薄膜厚度測量臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

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  • 摘要 中圖儀器NS系列探針式臺階儀輪廓粗糙度表面檢測儀可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量,是一種接觸式表面形貌測量儀器。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。

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  • 摘要 中圖儀器國內(nèi)臺階儀品牌廠家NS系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

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  • 摘要 中圖儀器國產(chǎn)臺階儀探針式輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

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  • NS200中圖臺階儀品牌
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    摘要 NS系列中圖臺階儀品牌采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

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  • 摘要NS系列國產(chǎn)臺階儀測粗糙度應(yīng)用場景適應(yīng)性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數(shù)的準確表征,對于相關(guān)材料...

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  • 摘要中圖儀器國產(chǎn)臺階儀測試薄膜厚度配備了500W像素的彩色相機,可實時將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示,進行即時的高精度定位測量??梢詫ξ⒚缀图{米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒...

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  • 摘要國產(chǎn)臺階儀品牌廠家中圖儀器的NS系列臺階儀,是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測...

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  • 摘要 中圖儀器NS系列臺階儀接觸式輪廓測量儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

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  • NS200表面臺階輪廓儀
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    摘要NS系列表面臺階輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。應(yīng)用場景適應(yīng)性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制...

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  • NS200臺階儀探針輪廓儀
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    摘要中圖儀器NS系列臺階儀探針輪廓儀是一種接觸式表面形貌測量儀器,可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面...

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  • NS200膜厚臺階儀
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    摘要NS系列膜厚臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。儀器采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù),使得儀...

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  • NS200接觸式臺階儀
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    摘要 中圖儀器NS系列接觸式臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

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  • 摘要 中圖儀器NS臺階儀探針式表面輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。它可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

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  • NS200國產(chǎn)臺階形貌儀
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    摘要 NS200國產(chǎn)臺階形貌儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

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  • NS200國產(chǎn)臺階膜厚儀
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    摘要 NS200國產(chǎn)臺階膜厚儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

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  • NS200臺階輪廓儀
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    摘要 NS系列臺階輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

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  • 摘要 NS系列微觀表面臺階顯微檢測儀是利用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,500萬像素高分辨率彩色攝像機,即時進行高精度定位測量??梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸?shù)娇刂齐娔X上,使得測量更加直觀。

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  • NS200臺階厚度測量儀
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    摘要 NS200臺階厚度測量儀能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料,是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀。

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  • NS200臺階厚度儀
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    摘要 針對測量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場景,NS系列臺階厚度儀結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺,能夠快速定位到測量標志位;對于批量樣件,提供自定義多區(qū)域測量功能,實現(xiàn)一鍵多點位測量;提供SPC統(tǒng)計分析功能,直觀分析測量數(shù)值變化趨勢。

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  • NS200探針式臺階儀
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    摘要NS200探針式臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器,可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用...

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  • NS200國產(chǎn)臺階儀
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    摘要 NS200國產(chǎn)臺階儀能夠測量幾個納米到330μm的臺階高度。這使其可以準確測量在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;可以測量表面的2D形狀或翹曲。也能夠測量在生產(chǎn)中包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件所產(chǎn)生的應(yīng)力。

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  • CP200臺階儀
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    摘要 CP200臺階儀

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  • 摘要 產(chǎn)品描述:Dektak Pro是布魯克新發(fā)布的一款的探針式輪廓儀/臺階儀,基于第十一代Dektak®系統(tǒng),具有4 ?重復(fù)性的優(yōu)異表現(xiàn),并提供200毫米平臺選項

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  • 摘要簡單介紹 臺階鉆頭同心度測試儀/定心鉆頭同心度測試儀/鉆頭同心度測試儀配有專用夾具,夾持倒頭,可以旋轉(zhuǎn)360度測量刀具;可選配備了業(yè)界功能*強大的美國M1-M3集成化多功能自動尋邊測量軟件,高清影像...

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  • 摘要簡單介紹 毛坯階梯軸同心度跳動儀/臺階軸同心度跳動儀/同心度跳動儀偏擺儀,刀具同軸度測量儀,同軸度檢測儀及同軸度測試儀適用于測量的行業(yè)有數(shù)控車加工小軸同心度儀,自動車加工同軸度測量儀,打印機軸加工同...

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  • 摘要簡單介紹 大型階梯軸刀刃可程序控制檢測儀/鍛圓鍛造臺階軸刀刃可程序控制檢測儀/滾花軸刀刃可程序控制檢測儀本機器銑刀激光外徑跳動測量儀,配公司高精度,多功能全電腦控制測量機,以非接觸式方式測量成型銑刀...

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  • 摘要簡單介紹 毛坯階梯軸刀刃可程序控制檢測儀/臺階軸刀刃可程序控制檢測儀/變速箱步輪軸刀刃可程序控制檢測儀本機器銑刀激光外徑跳動測量儀,配公司高精度,多功能全電腦控制測量機,以非接觸式方式測量成型銑刀/...

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  • 摘要簡單介紹 臺階軸自動跳動測定儀變速箱步輪軸自動跳動測定儀自主研發(fā)生產(chǎn)同心度儀,偏擺儀,刀具同軸度測量儀,同軸度檢測儀 及同軸度測試儀適用于測量的行業(yè)有數(shù)控車加工小軸同心度儀,自動 車加工同軸度測量儀...

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  • 摘要簡單介紹 鍛圓鍛造臺階軸同心度檢測儀/滾花軸同心度檢測儀同心度測定儀產(chǎn)品主要采用雙表測量,可同時測量圓跳動和端面跳動,是軸類工件或棒類,盤形工件外圓真圓度,平面度,兩圓的偏心度,平面垂直度等參數(shù)的測...

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  • 摘要簡單介紹 臺階鉆頭同心度測試儀/定心鉆頭同心度測試儀/鉆頭同心度測試儀同心度儀測量直徑: 3-35mm同心度儀適用長度: 102mm同心度儀精度: 0.002mm臺階鉆頭同心度測試儀/定心鉆頭同心度...

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  • 摘要 65系列高精度同心度測量儀特點:適用長軸長工件重量大產(chǎn)品同心度測量儀設(shè)計:單邊高度可調(diào)適用兩端基準直徑不一樣產(chǎn)品同心度測量中心高90mm鞍座高度可調(diào)15mm

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  • 美能探針式臺階儀SP200
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    摘要表面微觀特征是材料、化學(xué)、精密制造等領(lǐng)域的主要研究內(nèi)容,準確地評價表面微觀形貌、表面特征等,對于相關(guān)材料的評定、性能的分析和加工工藝的改善都具有重要意義。在半導(dǎo)體、光伏、LED、MEMS器件、材料等領(lǐng)域,表面臺階高度、膜厚的準確測量具有十分重要的價值,尤其是臺階高度是...

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  • 摘要 臺階儀

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  • 摘要 產(chǎn)品描述:Dektak Pro是布魯克新發(fā)布的一款的探針式輪廓儀/臺階儀,基于第十一代Dektak®系統(tǒng),具有4 ?重復(fù)性的優(yōu)異表現(xiàn),并提供200毫米平臺選項

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  • P-7P-7 臺階儀
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    摘要 P-7建立在市場的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。 它保持了P-17技術(shù)的測量性能,并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

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  • P-170P-170 臺階儀
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    摘要P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將行業(yè)的P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗證的HRP®-260的機械傳送臂相結(jié)合。 這樣的組合為機械傳送臂系統(tǒng)提供了極低的擁有成本,適用于半導(dǎo)體,化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)。 P-170可以對臺...

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  • P-17P-17 臺階儀
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    摘要P-17是第八代臺式探針輪廓儀,是40多年的表面量測經(jīng)驗的結(jié)晶。該系統(tǒng)業(yè)界,支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩(wěn)定性。 ...

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  • 摘要Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量,以及翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇...

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  • 摘要Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)...

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  • 摘要 KLA D-300探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。

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  • D500 高精度臺階儀
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    摘要 產(chǎn)品介紹 Alpha-Step D-500 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。

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  • 摘要 產(chǎn)品介紹 KLA的探針式臺階儀Alpha-Step D-600,可測量納米級至1200um臺階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復(fù)性以及亞埃級的分辨率。

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  • 摘要 產(chǎn)品介紹 KLA是半導(dǎo)體在線檢測設(shè)備市場較大的供應(yīng)商,在半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲、 MEMS 、太陽能、光電子 以及其他領(lǐng)域中有著不俗的。 P-7是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統(tǒng),歷經(jīng)技術(shù)積累和不 斷迭代更新,集合眾多技術(shù)優(yōu)勢。

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最新產(chǎn)品\ NEW PRODUCT
  • 精密臺階儀

    NS系列精密臺階儀可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
  • 精密臺階儀測量儀器

    NS系列精密臺階儀測量儀器通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
  • 高精度高重復(fù)性臺階儀

    NS系列高精度高重復(fù)性臺階儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
  • 國產(chǎn)探針式臺階儀

    NS系列國產(chǎn)探針式臺階儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
  • 納米級表面形貌臺階儀

    ?中圖儀器納米級表面形貌臺階儀單拱龍門式設(shè)計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。
  • 精密接觸式臺階儀

    NS系列精密接觸式臺階儀是一款為高精度微觀形貌測量設(shè)計的超精密接觸式儀器,通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
  • 納米級臺階儀

    NS系列納米級臺階儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。
  • 接觸式表面形貌臺階儀

    NS系列接觸式表面形貌臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。單拱龍門式設(shè)計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。
  • 高精度探針接觸式臺階儀

    NS系列高精度探針接觸式臺階儀單拱龍門式設(shè)計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
  • 探針式薄膜厚度臺階儀

    NS系列探針式薄膜厚度臺階儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
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