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輪廓儀

輪廓儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗(yàn)的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣泛。中文名輪廓儀外文名contourgraph分類電動輪廓儀,激光輪廓儀類目精密儀器1簡介功能可測量各種精密機(jī)械零件的素線形狀,直線度、角度、凸度、對數(shù)曲線、槽深、槽寬等參數(shù)。適用范圍本系列儀器廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、電機(jī)、汽配、摩配、精密五金、精密工具、刀具、模具、光學(xué)元件等行業(yè)。適用于科研院所、大專院校、計(jì)量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計(jì)量室、車間??蓽y軸承、滾針、滾子、電機(jī)軸、曲軸、圓柱銷、活塞

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  • 摘要 SuperVieweW光學(xué)表面微觀形貌輪廓測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

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  • 摘要粗糙度輪廓一體式測量儀,SJ5800國內(nèi)精密粗糙度輪廓儀一體機(jī)具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍,專業(yè)測試軸承內(nèi)外側(cè)。非常適合測量大曲面上的表面粗糙度,同時(shí)具備專業(yè)的軸承輪廓度評價(jià)功能,是大曲面測量(軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片)領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測量的...

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  • 摘要 SuperViewW白光干涉3D光學(xué)輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

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  • 摘要SuperViewW非接觸式表面光學(xué)粗糙度輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。它結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取...

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  • SJ5800-100工件表面波度輪廓儀
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    摘要 SJ5800工件表面波度輪廓儀采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)對軸承及工件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。

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  • 摘要SuperViewW鍍膜粗糙度光學(xué)輪廓測量儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。它結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件...

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  • 摘要 SJ5800機(jī)械零件表面粗糙度輪廓測量儀采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),具有精度高、操作方便易用、功能強(qiáng)大、智能防護(hù)、智能接觸等優(yōu)點(diǎn)。

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  • 摘要 SuperViewW廣東3d光學(xué)非接觸式輪廓儀測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

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  • 摘要 SJ5800接觸式凸度檢測輪廓儀具備軸承溝道測量功能:桃形溝尺寸、圓弧溝道、油溝形狀、角度及對稱度、套圈越程槽、成品軸承外圈凹槽距離、軸承滾道與擋邊角度測量、倒角R及倒角尺寸,對稱、非對稱、對數(shù)曲線滾子凸度及滾子球基面測量功能。

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  • 摘要 SJ5800觸針接觸式粗糙度輪廓儀可廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械加工、汽車、軸承、機(jī)床、模具、精密五金等行業(yè), 該儀器可以對零件表面,是大曲面測量(軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子)領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測量的利器。

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  • 摘要 SuperViewW非接觸式表面光學(xué)輪廓儀以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

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  • 摘要 SJ5800表面粗糙度測量輪廓儀測針自動接觸工件,自動調(diào)整測量力,根據(jù)工件表面自動調(diào)整移動速度,開始全自動輪廓掃描,整個(gè)過程無需任何人工操作。一次測量后可同時(shí)完成粗糙度和輪廓評定,無需更換傳感器。

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  • 摘要 SuperViewW白光干涉3D材料表面輪廓儀采用白光干涉技術(shù),結(jié)合具有抗噪性能的3D重建算法,真實(shí)還原樣品的每一個(gè)細(xì)節(jié)??梢酝ㄟ^重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。

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  • 摘要 SuperViewW光學(xué)三維表面粗糙度輪廓儀測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

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  • 摘要 SJ5800國產(chǎn)高精度粗糙度輪廓形狀測量儀可以對零件表面,尤其是大范圍曲面,如圓弧面和球面、異型曲面等進(jìn)行檢測,是大曲面測量(軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子)領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測量的利器。

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  • 摘要 SJ5800國產(chǎn)接觸式輪廓儀采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),通過軟件提供的分析工具可對輪廓及微觀輪廓進(jìn)行各種粗糙度參數(shù)、輪廓參數(shù)分析。

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  • 摘要 SuperViewW國產(chǎn)白光干涉光學(xué)輪廓儀系統(tǒng)基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。復(fù)合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。

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  • 摘要 SJ5800系列金屬表面深孔內(nèi)壁輪廓度測量儀器一體機(jī)采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測量。

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  • 摘要 SJ5800接觸式粗糙度輪廓儀器品牌可廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械加工、汽車、軸承、機(jī)床、模具、精密五金等行業(yè), 該儀器可以對零件表面,尤其是大范圍曲面,如圓弧面和球面、異型曲面等進(jìn)行檢測。

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  • 摘要 SJ5800大范圍曲面粗糙度輪廓測量儀與配套軟件測量軸承滾道,一次測量掃描后,在同一個(gè)界面顯示粗糙度評價(jià)結(jié)果與輪廓分析結(jié)果。軟件具有滾子分析功能,專門針對軸承滾子凸度等參數(shù)進(jìn)行評價(jià)分析。

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  • 摘要 SuperViewW高精密非接觸光學(xué)輪廓測量儀以白光干涉技術(shù)原理,對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量。它通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

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  • 摘要 SuperViewW一鍵三維形貌光學(xué)檢測輪廓儀基于白光干涉原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。

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  • 摘要 中圖儀器3D顯微形貌粗糙度光學(xué)輪廓儀SuperViewW具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。

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  • 摘要 SuperViewW全自動3D輪廓儀粗糙度表面形貌儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

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  • 摘要 SuperViewW光學(xué)3D輪廓儀檢測儀以白光干涉技術(shù)為原理,針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿足的高精度、大掃描范圍的需求,其復(fù)合型EPSI重建算法解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。

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  • 摘要 SJ5800零件表面粗糙度輪廓儀可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測量,尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度及輪廓尺寸一次性檢測,如圓弧面和球面、異型曲面進(jìn)行多種粗糙度參數(shù)(如Ra、Rz等)、微觀輪廓度Pt、波紋度參數(shù)的測量。

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  • 摘要SuperViewW光學(xué)非接觸式粗糙度3D輪廓儀采用白光干涉技術(shù),結(jié)合具有抗噪性能的3D重建算法,具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精...

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  • 摘要SJ5800輪廓測量儀凸軸粗糙度一體機(jī)采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍,分辨率高達(dá)到0.1nm,系統(tǒng)殘差小于3nm。,可實(shí)現(xiàn)對軸承及工件表面粗糙度...

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  • SJ5800-100波紋度測量輪廓儀
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    摘要SJ5800波紋度測量輪廓儀采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),通過軟件提供的分析工具可對輪廓及微觀輪廓進(jìn)行各種粗糙度參數(shù)、輪廓參數(shù)分析。如測W波紋度輪廓參數(shù):Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv...

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  • 摘要 中圖儀器SuperViewW系列0.1nm分辨率白光干涉光學(xué)輪廓儀能以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,主要用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量。

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  • 摘要中圖儀器SuperViewW光學(xué)3D輪廓儀粗糙度在線檢測設(shè)備基于白光干涉原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,以3D非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸??蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車...

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  • 摘要SuperViewW廣東光學(xué)3D輪廓儀表面粗糙度檢測儀器基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸??蓪Ω鞣N產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等...

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  • SJ5700DUAL雙向型輪廓掃描儀
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    摘要SJ5700DUAL雙向型輪廓掃描儀X軸、Z軸采用獨(dú)立運(yùn)動系統(tǒng),使用兩軸聯(lián)動運(yùn)動控制算法,可實(shí)現(xiàn)X、Z雙軸聯(lián)動掃描,測量時(shí)測針在工件表面做仿形運(yùn)動掃描(主動掃描),既保持了恒測力,又保證了大的陡坡通過能力,工件調(diào)平操作簡單,同時(shí)避免了崩針、掛針等問題??梢匀砍檀蠓秶?..

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  • 摘要 中圖儀器SuperViewW多模式三維光學(xué)輪廓儀提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能和自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能。它基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

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  • 摘要 中圖儀器SJ5800粗糙度輪廓形狀測量儀采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測量,尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度及輪廓尺寸一次性檢測。

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  • 摘要 中圖儀器SuperViewW3d高倍光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

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  • 摘要 中圖儀器SJ5800國內(nèi)表面粗糙度輪廓儀可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測量,尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度及輪廓尺寸一次性檢測,如圓弧面和球面、異型曲面進(jìn)行多種粗糙度參數(shù)(如Ra、Rz等)、微觀輪廓度Pt、波紋度參數(shù)的測量。

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  • 摘要中圖儀器SuperViewW1國產(chǎn)3D三維光學(xué)表面輪廓儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測量儀器。主要用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率...

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  • 摘要 SuperViewW1國產(chǎn)自研三維光學(xué)輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

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  • 摘要SJ5800系列接觸式高精度粗糙度輪廓儀具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍,專業(yè)測試軸承內(nèi)外側(cè)。輪廓和粗糙度一體測量,無需切換模塊??梢詫α慵砻?,尤其是大范圍曲面,如圓弧面和球面、異型曲面等進(jìn)行檢測,是大曲面測量(軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、軸承...

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  • SuperView W1白光3D輪廓儀
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    摘要 中圖儀器SuperViewW1白光3D輪廓儀的復(fù)合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動拼接模塊下,只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn),即可自動掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,不見一絲重疊縫隙。

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  • 摘要 中圖儀器SuperViewW納米深度光學(xué)3D表面形狀輪廓顯微檢測儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

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  • 摘要 SJ5900中圖輪廓儀光學(xué)曲面測量儀集成表面粗糙度和輪廓測量。儀器采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高穩(wěn)定性氣浮隔震系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)對球面及非球面光學(xué)元器件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。

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  • 摘要 中圖儀器SuperViewW1光學(xué)輪廓儀測量表面粗糙度的儀器采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)高測量精度重復(fù)性和高粗糙度RMS重復(fù)性。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。

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  • 摘要 中圖儀器SJ5800系列生產(chǎn)配件粗糙度輪廓度檢測儀具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍,輪廓和粗糙度一體測量,無需切換模塊。其強(qiáng)大的產(chǎn)品功能及高精度測量能力可以滿足發(fā)動機(jī)關(guān)鍵零部件的輪廓尺寸測量需求。

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最新產(chǎn)品\ NEW PRODUCT
  • 粗糙度儀輪廓測量儀一體機(jī)

    SJ5800粗糙度儀輪廓測量儀一體機(jī)分辨率高達(dá)到0.1nm,系統(tǒng)殘差小于3nm。一鍵實(shí)現(xiàn)對軸承及工件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。它具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍,專業(yè)測試軸承內(nèi)外側(cè),能夠滿足軸承行業(yè)所有的測量需求。
  • 光學(xué)3D輪廓表面形貌儀

    SuperViewW光學(xué)3D輪廓表面形貌儀產(chǎn)品不通倍率的鏡頭,適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。儀器外殼與內(nèi)部運(yùn)動機(jī)構(gòu)采用了分離式設(shè)計(jì),有效隔離了聲波振動的傳導(dǎo);外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng),可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動噪聲。
  • 三維形貌光學(xué)輪廓儀

    SuperViewW三維形貌光學(xué)輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。
  • 高精度3D光學(xué)輪廓儀

    中圖儀器SuperViewW系列高精度3D光學(xué)輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。它結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。
  • 國產(chǎn)接觸式輪廓測量儀

    SJ5800國產(chǎn)接觸式輪廓測量儀分辨率高達(dá)到0.1nm,系統(tǒng)殘差小于3nm,具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍,專業(yè)測試軸承內(nèi)外側(cè)。采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)對軸承及工件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。
  • 表面粗糙度輪廓度儀器

    SJ5800表面粗糙度輪廓度儀器分辨率高達(dá)到0.1nm,系統(tǒng)殘差小于3nm。一鍵實(shí)現(xiàn)對軸承及工件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。它具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍,專業(yè)測試軸承內(nèi)外側(cè),能夠滿足軸承行業(yè)所有的測量需求。
  • 白光干涉3D輪廓儀

    SuperViewW白光干涉3D輪廓儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。
  • 接觸式粗糙度輪廓檢測儀器

    SJ5800接觸式粗糙度輪廓檢測儀器分辨率高達(dá)到0.1nm,系統(tǒng)殘差小于3nm,具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍,專業(yè)測試軸承內(nèi)外側(cè)。采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)對軸承及工件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。
  • 中圖儀器光學(xué)3D輪廓測量儀

    SuperViewW中圖儀器光學(xué)3D輪廓測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。它結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。
  • 中圖白光共聚焦顯微鏡

    中圖白光共聚焦顯微鏡以白光LED為光源,主要用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量。它以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),保證儀器的高測量精度。
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