電子束曝光技術(shù)是在計(jì)算機(jī)控制下,按照加工要求的圖形,利用聚焦后的電子束對基片上的抗蝕劑進(jìn)行曝光,在抗蝕劑中產(chǎn)生具有不同溶解性能的區(qū)域,根據(jù)不同區(qū)域的溶解特性,利用具有選擇性的顯影劑進(jìn)行顯影,溶解性強(qiáng)的抗蝕劑部分被去除,溶解性差或不溶的部分保留下來,就可以得到所需要的抗蝕劑圖形。正文編輯區(qū)域參考資料編輯區(qū)域
查看詳情電子束曝光技術(shù)是在計(jì)算機(jī)控制下,按照加工要求的圖形,利用聚焦后的電子束對基片上的抗蝕劑進(jìn)行曝光,在抗蝕劑中產(chǎn)生具有不同溶解性能的區(qū)域,根據(jù)不同區(qū)域的溶解特性,利用具有選擇性的顯影劑進(jìn)行顯影,溶解性強(qiáng)的抗蝕劑部分被去除,溶解性差或不溶的部分保留下來,就可以得到所需要的抗蝕劑圖形。正文編輯區(qū)域參考資料編輯區(qū)域
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在線詢價(jià)摘要 SAMACOICP蝕刻設(shè)備RIE-800iPC,具有優(yōu)良工藝再現(xiàn)性的生產(chǎn)設(shè)備它是一種使用感應(yīng)耦合等離子體作為放電類型的高密度等離子體蝕刻設(shè)備
在線詢價(jià)摘要 TEL/TOKYOELECTRON二手翻新現(xiàn)貨刻蝕機(jī)TELIUSSP305SCCMTE,針對于12英寸的晶圓進(jìn)行刻蝕處理,采用接觸式刻蝕作業(yè)方式,可4個(gè)腔室同時(shí)工作
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