燃?xì)獗斫鉀Q其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種裝有多旁路測量裝置的MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗?，包括MEMS質(zhì)量流量傳感器及阻流體，其特征在于：在主流氣道1內(nèi)側(cè)裝有阻流體7，阻流體7位于旁路入口2和旁路出口5之間。旁路入口2經(jīng)旁路氣道3與旁路出口5連接，在旁路氣道3的上方裝有MEMS質(zhì)量流量傳感器4，MEMS質(zhì)量流量傳感器4由傳感器底座6固定。由旁路入口2、旁路氣道3、MEMS流量傳感器4、旁路出口5組成旁路檢測裝置，1#旁路檢測裝置8、2#旁路檢測裝置9、3#旁路檢測裝置10、4#旁路檢測裝置11分別放置在主流氣道1外側(cè)呈對稱分布。

 

　　燃?xì)獗淼挠幸嫘Ч?，一種帶有多旁路測量的MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗?，MEMS流量傳感器可以測量氣體的質(zhì)量流量，無需溫壓補償。MEMS傳感器安裝在旁路上，使得抗污染能力得到提高，另外通過調(diào)整測量管道與旁路的分流比可以拓展燃?xì)獗淼牧髁繙y量范圍。多旁路傳感器的流量測量方式，通過多個旁路氣道的多點測量，解決了單旁路氣道因氣體偏流引起的主流氣道與旁路氣道流量比例的變化，經(jīng)過多個旁路氣道測量出的數(shù)據(jù)加權(quán)平均計算，提高了測量儀表的計量精度、重復(fù)性和可靠性，減少了流量儀表前直管段長度。

 

　　燃?xì)獗?/strong>無任何機械運動部件，無任何機械磨損，故障率低，壽命長。覆蓋中、低壓的民用、商業(yè)燃?xì)庥脩艏肮I(yè)用戶，量程比最大可達1000：1，超寬的量程范圍使表具不會出現(xiàn)小流量漏計現(xiàn)象，具有體積小、重量輕、無噪聲、不受磁場影響、防拆卸、易安裝、零點穩(wěn)定性好、重復(fù)性好、精度高、始動流量低等特點，多傳感器同時工作，也提高了測量裝置的可靠性。