氣體質(zhì)量流量計既可進行氣體流量計量工作，也可用于過程控制領域。它引進美國先進技術(shù)生產(chǎn)，無須溫壓補償，直接測出流體的質(zhì)量流量。工作原理氣體流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。

 

　　小流量氣體質(zhì)量流量計是自主研制的MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳質(zhì)的依存關系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。該流量計同時實現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。

 

　　當芯片處于工作狀態(tài)時，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場分布。

 

　　微機電系統(tǒng)流量計芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的擾動不同，因而能測量氣體的質(zhì)量流量或總流量。

 

　　質(zhì)量流量計通常分為氣體質(zhì)量流量計、差壓式質(zhì)量流量計和科里奧利質(zhì)量流量計。

 

　　簡單來說，氣體質(zhì)量流量計通常測量旁路毛細管內(nèi)通過氣體的前后熱量變化來測量質(zhì)量流量；壓差式質(zhì)量流量計通過測量做層流運動的氣體的兩點之間的壓力差來計算流量；科里奧利質(zhì)量流量計則是通過測量兩個并排U形管振動前后的差異來測量氣體的質(zhì)量流量。