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高純晶硅項(xiàng)目冷氫化裝置流量計(jì)選型和應(yīng)用案例
高純晶硅項(xiàng)目中的冷氫化裝置是指一種用于制備高純度硅的生產(chǎn)設(shè)備,通常用于多晶硅的制備過(guò)程。冷氫化是指將硅氣體(一般為硅氫化氣體)通過(guò)液態(tài)氫氣冷卻至低溫,使硅氣體在低溫下凝結(jié)成固體硅,以獲取高純度的晶體硅的過(guò)程。根據(jù)青海新建年產(chǎn)5萬(wàn)噸高純晶硅項(xiàng)目冷氫化裝置采用的美國(guó)威盾VTON的進(jìn)口渦街流量計(jì)案例,分析下高純晶硅項(xiàng)目冷氫化裝置流量計(jì)的選型。
冷氫化裝置的作用主要包括:
硅氣體凝固: 將硅氣體在液態(tài)氫氣的冷卻下凝固成固體硅,實(shí)現(xiàn)高純度硅的制備。
提高純度: 通過(guò)在低溫下凝固硅氣體,可以有效提高晶硅的純度,滿足半導(dǎo)體和光伏等領(lǐng)域?qū)Ω呒兌裙璧男枨蟆?/span>
在高純晶硅項(xiàng)目中,生產(chǎn)過(guò)程中需要對(duì)硅氫化氣體的流量進(jìn)行測(cè)量。硅氫化氣體是一種關(guān)鍵的原料氣體,其流量的準(zhǔn)確測(cè)量對(duì)于生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。
美國(guó)威盾VTON的進(jìn)口渦街流量計(jì)是一種常用于氣體介質(zhì)流量測(cè)量的儀器,也適用于硅氫化氣體的流量測(cè)量。在選擇渦街流量計(jì)進(jìn)行硅氫化氣體流量測(cè)量時(shí),需要考慮以下幾個(gè)方面:
流量范圍: 確定硅氫化氣體的預(yù)期流量范圍,選擇渦街流量計(jì)的合適測(cè)量范圍,以確保在不同工況下都能準(zhǔn)確測(cè)量。
精度要求: 根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求,確定渦街流量計(jì)的精度等級(jí),以保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
材質(zhì)選型: 考慮硅氫化氣體的特性和工藝環(huán)境,選擇適合的材質(zhì)和密封方式,以確保渦街流量計(jì)能夠在特定的工藝條件下長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
安裝位置: 合理選擇渦街流量計(jì)的安裝位置,避免流體進(jìn)口處出現(xiàn)渦旋或塵埃等影響測(cè)量準(zhǔn)確性的情況。
環(huán)境要求: 確保渦街流量計(jì)的環(huán)境適應(yīng)性,包括溫度、壓力和介質(zhì)腐蝕性等方面的考慮。
綜上所述,渦街流量計(jì)在高純晶硅項(xiàng)目中的應(yīng)用主要是對(duì)硅氫化氣體流量的測(cè)量,通過(guò)合理選擇和應(yīng)用渦街流量計(jì),可以確保生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量的提高。
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