Z向運(yùn)動大承載壓電掃描臺 - P70.Z200系列

來源：哈爾濱芯明天科技有限公司 2023年12月07日 11:14

P70.Z200系列壓電掃描臺是一款兼具小體積、大行程、大負(fù)載特點(diǎn)的Z向運(yùn)動一維壓電掃描臺。它采用機(jī)構(gòu)放大原理，無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，具有中心通孔設(shè)計(jì)，可帶動物鏡或樣品實(shí)現(xiàn)納米級精度的Z向升降運(yùn)動，行程可達(dá)到200μm，承載可達(dá)500g。其內(nèi)置傳感器通過全橋方式連接，無漂移，可以實(shí)現(xiàn)在納米范圍內(nèi)精確定位，閉環(huán)分辨率6nm，重復(fù)定位精度達(dá)0.02%F.S.。產(chǎn)品在顯微成像、光學(xué)檢測、生物科技、圖像處理等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

小體積中心通孔設(shè)計(jì)

P70.Z200系列壓電掃描臺體積非常小巧，且具有φ10mm的中心通孔設(shè)計(jì)，尺寸如下圖所示。

負(fù)載安裝便捷

P70.Z200系列壓電掃描臺在中心部位配置負(fù)載螺紋孔，便于物鏡或樣品等負(fù)載的安裝，最大承載可達(dá)500g。標(biāo)準(zhǔn)負(fù)載適配螺紋W0.8×1/36”,可根據(jù)用戶不同需求定制螺紋尺寸。

閉環(huán)快速階躍

P70.Z200系列壓電掃描臺閉環(huán)空載階躍時間為20ms，當(dāng)帶載200g階躍時間可達(dá)30ms，響應(yīng)速度快。

典型應(yīng)用舉例

應(yīng)用于籠式結(jié)構(gòu)

芯明天研發(fā)生產(chǎn)的P70.Z200系列壓電掃描臺結(jié)構(gòu)中配備了籠式結(jié)構(gòu)安裝通孔，可直接集成到籠式結(jié)構(gòu)中。它可用于帶載物鏡，進(jìn)行Z向直線運(yùn)動的納米級調(diào)整，精確的調(diào)整經(jīng)物鏡聚焦后的焦點(diǎn)與樣品間的距離。

顯微成像

對于高分辨率顯微成像技術(shù)而言，壓電掃描臺是其中不可少的一部分，它可以帶載物鏡或樣品做Z向的聚焦或樣品位置的調(diào)節(jié)，大幅提高成像的清晰度，其精度可達(dá)納米級別。且壓電掃描臺由電信號控制，聚焦速度快，響應(yīng)速度可達(dá)亞毫秒或毫秒量級。

生物科技

隨著生物醫(yī)療技術(shù)的快速發(fā)展，精密定位技術(shù)也在其領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用。如染色體的切割、細(xì)胞分離、細(xì)胞融合、納升配藥、微流體等，其中定位部分可應(yīng)用壓電定位掃描臺，可利用其超高的分辨率及定位精度和抗干擾能力，進(jìn)行精確定位。

技術(shù)參數(shù)

型號	P70.Z200
運(yùn)動自由度	Z
驅(qū)動控制	1路驅(qū)動，1路傳感
標(biāo)稱行程范圍（0~120V）	136μm
行程范圍（-20~150V）	200μm
傳感器類型	SGS
閉/開環(huán)分辨率	6nm/2nm
閉環(huán)線性度	0.05%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度	0.02%F.S.
空載諧振頻率	500Hz
帶載諧振頻率@200g	250Hz
閉/開環(huán)空載階躍時間	20ms
承載能力	500g
靜電容量	7.2μF
材質(zhì)	鋼、鋁
重量	240g（包含6芯連接線）

配套控制器

E53.D1S壓電控制器非常適用于驅(qū)動P70.Z200系列壓電掃描臺，它是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的單通道壓電陶瓷控制器。該控制器采用專用運(yùn)放電路保證了高壓大電流的輸出能力，通過優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調(diào)節(jié)與控制的精準(zhǔn)度與穩(wěn)定性，可靠的抗干擾設(shè)計(jì)保證了控制器的高頻率響應(yīng)速度。

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