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壓力傳感器晶元數(shù)字壓力傳感器

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深圳市億為測(cè)控電子有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MS761壓力傳感器晶元的基礎(chǔ)組成是在耐熱玻璃上真空封裝上硅微機(jī)加工膜

詳細(xì)介紹

MS761壓力傳感器晶元的基礎(chǔ)組成是在耐熱玻璃上真空封裝上硅微機(jī)加工膜。植入的電阻利用壓阻效應(yīng)。絕壓傳感器MS761-A在膜下面有個(gè)真空參考腔，差壓傳感器MS761-D的背面耐熱玻璃中間有個(gè)孔。0 到100kpa 壓力范圍（1bar 或14.5PSI)；高靈敏度；符合RoHS 和無鉛

全壓力范圍

Kpa	bar	mbar	PSI	atm	mm Hg	m H2O	Inches H2O
100	1	1000	14.5	0.987	750	10.197	401

率

參數(shù)	符號(hào)	條件	Min	Max	Unit
供應(yīng)電壓	VS+	Ta=25℃		20	V
儲(chǔ)存溫度范圍	Ts		-40	+125	℃
過壓				5	Bar

電氣特性

(Reference conditions:Supply Voltage VS+=5Vdc; Ambient Temperature Ta=25℃)

參數(shù)	最小	典型		單位	備注
工作壓力范圍	0	-	1	bar
工作溫度范圍	-40		125	℃
橋路電阻	3.0	3.4	3.8	KΩ
滿量程	190	240	290	mV
零點(diǎn)	-40	0	40	mV
線性		±0.15	±0.4	%FS	1
溫度系數(shù) 電阻量程零點(diǎn)	+2400 -1500 -100	+2800 -1900	+3300 -2300 +100	ppm/℃ ppm/℃ μV/℃	2
壓力遲滯		0.05	±0.15	%FS	3
重復(fù)性		0.05	±0.15	%FS	4
溫度遲滯			0.3	%FS	5

訂購(gòu)信息

產(chǎn)品	類型	產(chǎn)品說明	編號(hào)
MS761-A	絕壓	1 bar Pressure Sensor Die sawn on b/f	76125021
MS761-A_0.2	絕壓	1 bar Pressure Sensor Die 0.2mm Pyrex sawn on b/f	76125022
MS761-D	差壓	1 bar Pressure Sensor Die sawn on b/f	76125121