DHPS系列直流濺射等離子體實(shí)驗(yàn)裝置

裝置采用同軸二極濺射結(jié)構(gòu)，靶臺(tái)和靶距離可調(diào)節(jié)，濺射基片可進(jìn)行控溫加熱；

濺射氣壓、濺射氣源流量可調(diào)節(jié)，可研究不同氣壓、氣源流量對(duì)薄膜濺射的影響

；反應(yīng)腔體采用石英玻璃管，可直觀地觀察到濺射現(xiàn)象；工作氣體可調(diào)節(jié)更換，

并可多路氣體混合工作?？梢酝瓿晒鈱W(xué)薄膜材料的制備及其光學(xué)特性的測(cè)量、金

屬薄膜的制備等實(shí)驗(yàn)。

主要實(shí)驗(yàn)內(nèi)容：

◆光學(xué)薄膜材料的制備及其光學(xué)特性的測(cè)量；

◆金屬薄膜的制備實(shí)驗(yàn)；ZHG-1600電動(dòng)執(zhí)行器ZSKQ-5100，DHPS系列直流濺射等離子體實(shí)驗(yàn)裝置

◆理解直流濺射原理，掌握直流濺射薄膜材料的工藝方法。

主要技術(shù)特點(diǎn)：ZHG-1600電動(dòng)執(zhí)行器ZSKQ-5100，DHPS系列直流濺射等離子體實(shí)驗(yàn)裝置

◆濺射靶臺(tái)和濺射靶距離可調(diào)節(jié)，研究在不同距離時(shí)對(duì)薄膜濺射的影響；

◆濺射基片可進(jìn)行加熱，加熱溫度可控，研究基片溫度對(duì)薄膜濺射的影響；

◆濺射氣壓、濺射氣源流量可調(diào)節(jié)，研究不同氣壓、氣源流量對(duì)薄膜濺射的影響

◆反應(yīng)腔體采用石英玻璃管，可直觀地觀察到濺射現(xiàn)象；

◆供電電源：AC 220V，50 Hz。高斯計(jì)特斯拉計(jì)

/     http://www.029ybc。。ｃｏｍ/