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化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)CP-4

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式:李娜查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2016-04-28 13:45:09瀏覽次數(shù):243次

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經(jīng)營(yíng)模式:代理商

商鋪產(chǎn)品:48條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:李娜 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

CP-4是世界zui通用和的臺(tái)式化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備(CMP),可以很好的滿足您的研發(fā)需求。*軟件控制,可以對(duì)直徑4英寸的晶圓和磁盤進(jìn)行拋光。 CETR-CP-4可檢測(cè)原位摩擦力,摩擦系數(shù),溫度,下壓力,磨損,聲發(fā)射等,可以模擬所有的參數(shù),如速度,負(fù)載和流量,來模仿一個(gè)大的CMP系統(tǒng)。

詳細(xì)介紹

CP-4化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備

CP-4是世界zui通用和臺(tái)式化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備(CMP),可以很好的滿足您的研發(fā)需求。*軟件控制,可以對(duì)直徑4英寸的晶圓和磁盤進(jìn)行拋光。 CETR-CP-4可檢測(cè)原位摩擦力,摩擦系數(shù),溫度,下壓力,磨損,聲發(fā)射等,可以模擬所有的參數(shù),如速度,負(fù)載和流量,來模仿一個(gè)大的CMP系統(tǒng)。


用于化學(xué)機(jī)械拋光的研究和開發(fā)的各個(gè)方面
• 測(cè)試和開發(fā)各種不同的微粒,材料,濃度,氧化劑,抑制劑等的拋光液
• 測(cè)試和開發(fā)不同的材料,溝槽形狀,尺寸,彈性,壽命等
• 測(cè)試和發(fā)展拋光墊調(diào)節(jié)裝置來優(yōu)化拋光墊的損耗率,修整,效率等
• 開發(fā)CMP定位環(huán)材料來優(yōu)化摩擦,磨損,壽命等
• 測(cè)試去除率,重復(fù)性缺陷,工藝優(yōu)化等,研究或開發(fā)各種應(yīng)用的各種材料
• 半導(dǎo)體方面 - 銅,Ta, TaN, Al, Si, SiO, Ru, WC, solar cells, PVD, CVD, 薄膜等
• 化合物半導(dǎo)體 - 砷化鎵,銦,磷化物,汞,鎘
• 應(yīng)用生物材料 - 牙,骨,鈦,鋼鐵制品等。
• 光電材料 – LED,藍(lán)寶石,紅外窗口拋光激光材料,顯微鏡頭,微光學(xué),鈮酸鋰,鉭酸鋰,磷酸氧鈦鉀等。

同時(shí)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)及處理
• 通過在晶圓墊和調(diào)節(jié)墊界面處的擁有的傳感器,測(cè)量負(fù)載和摩擦力,
• 通過在晶圓墊和調(diào)節(jié)墊界面處的擁有的傳感器和放大器,測(cè)量接觸噪聲
• 使用聲波表征的缺陷、劃痕,并在加工過程中分層
• 監(jiān)測(cè)流入的拋光液,拋光片表面和流出廢液的溫度 .

關(guān)鍵詞:顯微鏡 傳感器

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