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以色列optimet傳感器mark3.0三維掃描儀,激光功率和能量計(jì)主要用來(lái)測(cè)量光源的輸出。無(wú)論光發(fā)射是來(lái)源于弱光源(如熒光),還是來(lái)源于高能量的脈沖激光器,功率和能量計(jì)都是實(shí)驗(yàn)室、生產(chǎn)部門或是工作現(xiàn)場(chǎng)等多種應(yīng)用環(huán)境中*的工具。
以色列optimet傳感器mark3.0三維掃描儀
傳感器的選擇比較復(fù)雜。目前市場(chǎng)上應(yīng)用的三種主要傳感器類型有:光電二極管、熱傳感器和熱釋電傳感器。光電二極管傳感器由光電二極管和ND)濾光片組成,以確保入射到探測(cè)器上的功率能夠保證傳感器線性工作,其中光電二極管通常選用硅(Si)、鍺(Ge)或銦砷化鎵等材料,每種光電二極管具有不同的峰值波長(zhǎng)和響應(yīng)范圍。每個(gè)光電二極管在不同的波長(zhǎng)處具有不同的響應(yīng)度。響應(yīng)度的單位是A/W,代表了傳感器將入射光轉(zhuǎn)換為電流的效率。具有快速響應(yīng)時(shí)間的傳感器對(duì)波長(zhǎng)敏感,因此zui適用于測(cè)量低功率激光。
熱傳感器通過將入射光轉(zhuǎn)換成熱能來(lái)測(cè)量功率或能量。熱傳感器在186nm~10.6μm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有平坦的光譜響應(yīng),因此其適用于多波長(zhǎng)或者非單色光的測(cè)量。光電二極管也可以測(cè)量紫外(UV)到紅外(IR)波段的波長(zhǎng),但是其在不同波長(zhǎng)處具有不同的響應(yīng)度,因此必須將激光波長(zhǎng)輸入測(cè)量?jī)x以獲得正確的讀數(shù)。在1800 nm或更長(zhǎng)的波長(zhǎng)處,熱探測(cè)器通常是*的選擇。熱傳感器可以承受高功率激光,但是如果功率變化范圍較大的話,則需要幾秒鐘才能達(dá)到平衡。由于不像光電二極管那樣靈敏,因此熱傳感器不適合用于低功率測(cè)量。
熱釋電傳感器通過將光脈沖能量轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)來(lái)測(cè)量脈沖能量。熱釋電傳感器能響應(yīng)較寬的波長(zhǎng)范圍,但是其響應(yīng)曲線不如熱傳感器那么平坦。熱釋電傳感器只能測(cè)量脈沖光源,并有zui小帶寬要求以使傳感器能夠“看到”脈沖。
目前市場(chǎng)上的許多功率和能量計(jì)都兼容這三類傳感器。如果將通用型儀表盤和功率傳感器一起使用,這套裝置就是功率計(jì);如果將通用型儀表盤和能量傳感器一起使用,這套裝置就是能量計(jì)。
以色列optimet傳感器mark3.0三維掃描儀
選擇何種傳感器?
這部分內(nèi)容將介紹哪些類型的傳感器可用于測(cè)量功率,哪些可用于測(cè)量能量,以及它們的測(cè)量范圍。用于測(cè)量功率的熱電堆探測(cè)器往往面積較大,具有較高的損傷閾值,功率測(cè)量范圍從毫瓦到千瓦?;诎雽?dǎo)體的光電二極管探測(cè)器不但體積較小,而且靈敏度高,功率測(cè)量范圍從皮瓦到毫瓦。
這三種類型的探測(cè)器都可用于測(cè)量能量。熱電堆探測(cè)器是毫秒(ms)量級(jí)單脈沖測(cè)量、或者每個(gè)脈沖能量達(dá)幾焦耳的高能量光束測(cè)量的理想選擇。熱釋電探測(cè)器短脈沖(脈寬從fs到ms)和寬能量范圍(從50nJ到焦耳量級(jí))的測(cè)量。光電探測(cè)器則適合測(cè)量低能量(從fJ到mJ量級(jí))的短脈沖(脈寬從fs到ms)。每個(gè)探頭和儀器模塊的關(guān)鍵指標(biāo)的性能范圍有較大差異,用戶在選擇之前,要提前與產(chǎn)品專家了解具體情況。
光電二極管探測(cè)器可與積分球一起使用,以獲得對(duì)光源的均勻和準(zhǔn)確測(cè)量。Lasermet公司帶有積分球的光電二極管探頭,通常能夠測(cè)量的功率小至1μW;緊湊型探頭能夠測(cè)量的功率小至1nW,光束可以直接照射到這種光電二極管上。熱探頭通??梢詼y(cè)量的功率低至1mW。
光電二極管也提供了更高的熱穩(wěn)定性,而熱探測(cè)器則容易受到熱干擾和熱漂移的影響,因此更難準(zhǔn)確使用。目前市場(chǎng)上已經(jīng)有一些熱探測(cè)器結(jié)合了溫度穩(wěn)定技術(shù),從而大大減少了熱漂移。
關(guān)鍵指標(biāo)
選擇PEM時(shí)首先要考慮的指標(biāo)是傳感器的波長(zhǎng)范圍以及對(duì)功率和能量的測(cè)量范圍。測(cè)量?jī)x應(yīng)該能夠在未飽和的狀態(tài)下給出測(cè)量值。通常飽和電流在10mA量級(jí)(峰值響應(yīng)處的功率約為10mW)。高功率的測(cè)量通常采用積分球或光衰減器來(lái)降低飽和。系統(tǒng)的另一個(gè)重要指標(biāo)是zui低可測(cè)量的功率/能量水平處的信噪比。典型的噪聲水平在幾mW量級(jí),高靈敏度模塊可測(cè)量的功率低至1μW。
在挑選了合適的探頭來(lái)測(cè)量激光或?qū)拵Ч庠春?,下一個(gè)要考慮的問題是破壞閾值。用戶需要了解被測(cè)量的功率和能量密度,以免探頭被破壞。這需要了解光斑尺寸以及能量分布。高斯光束在光束頂部具有非常高的功率/能量密度。
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