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四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR)，能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體，兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，適合半導(dǎo)體行業(yè)化學(xué)沉積設(shè)備、原子層沉積設(shè)備腔室的清潔終點監(jiān)測。
四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器產(chǎn)品特性
使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
響應(yīng)時間快，高靈敏度
無耗材
模擬/數(shù)字通信
模塊化設(shè)計，便于集成
四氟化硅傳感器技術(shù)參數(shù)
| 檢測原理 | NDIR |
| 檢測氣體 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復(fù)性 | ±0.5% |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 檢測限 | 1ppm |
