長沙諾賽希斯儀器儀表有限公司
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閱讀：54發(fā)布時間：2024-12-28
壓力傳感器是使用泛的一種傳感器，它是檢測氣體、液體、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱，也包括測量高于大氣壓的壓力計以及測量低于大氣壓的真空計。壓力傳感器的種類甚多、傳統(tǒng)的測量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示，但它的體積大、笨重、輸出非線性。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，利用半導體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性，研制出半導體力敏傳感器，主要有硅壓阻式和電容式兩種，它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點，因此半導體壓力傳感器得到廣泛應(yīng)用。當對一塊半導體在某一晶向上施加應(yīng)力時，其電阻率會產(chǎn)生一定的變化。這種導體電阻率變化和應(yīng)力之間的相互關(guān)系稱為半導體壓阻效應(yīng)，利用此效應(yīng)制成的力學量傳感器稱為壓阻式力敏傳感器，它有兩種類型，一類是將半導體應(yīng)變計粘貼在彈性元件上制成的傳感器，稱為粘貼型壓阻式傳感器，另一類是在半導體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻，使應(yīng)變計與硅襯底形成同一整體的傳感器，稱為擴散型壓阻式傳感器。
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