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FT9500系列/FT9500X系列高性能X射線熒光鍍層厚度測量儀

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更新時間：2024-03-01 12:14:18瀏覽次數(shù)：219次

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北京東方中科集成科技股份有限公司

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產(chǎn)品簡介

搭載了新型X射線聚光系統(tǒng)（毛細(xì)管），可發(fā)射實際照射直徑為30um的高亮度X射線。可對引腳架、連接器、靈活基板、微型薄膜進(jìn)行檢測。

詳細(xì)介紹

X射線發(fā)生系統(tǒng)是X射線聚光系統(tǒng)(聚光導(dǎo)管)與X射線管相結(jié)合，從而在FT9500上產(chǎn)生光斑直徑為Φ0.1mm以下高強(qiáng)度的X射線束。
在FT9500X中，我們開發(fā)了新型X射線聚光導(dǎo)管(單毛細(xì)管)，實現(xiàn)了FT最小的實際照射約為Φ30μm的高強(qiáng)度X光束照射。
為此，可以對以往由于X射線照射強(qiáng)度不足而導(dǎo)致無法得到理想精度的導(dǎo)線架、接插件、柔性線路板等微小零件及極薄鍍層進(jìn)行測量。

高性能X射線熒光鍍層厚度測量儀 FT9500系列/FT9500X系列特長

X射線發(fā)生系統(tǒng)采用了聚光導(dǎo)管
因為采用了X射線聚光導(dǎo)管方式，所以可以得到以往10倍以上的X射線強(qiáng)度，從而可以提高微小樣品的膜厚測量及有害物質(zhì)測量的精度。
不需液氮的半導(dǎo)體檢測器
在進(jìn)行薄膜測量時，高分辨率的檢測器是必*。FT9500的檢測器不但可以達(dá)到高分辨率而且可以實現(xiàn)高計數(shù)率。同時，由于使用了電子冷卻方式，所以無需液氮。
Φ30μm高強(qiáng)度X光束照射
FT9500X作為聚光導(dǎo)管方式的鍍層測量儀，可進(jìn)行達(dá)Φ30μm高強(qiáng)度X光束照射。另外，與FT9500相比，僅相當(dāng)過去約10%的照射面積即可進(jìn)行同等精度的測量。
多鍍層的厚度測量
FT9500可以同時對納米等級的電子材料上多鍍層的各層厚度進(jìn)行測量，最多五層鍍層及組成。

高性能X射線熒光鍍層厚度測量儀 FT9500系列/FT9500X系列規(guī)格

?	FT9500系列	FT9500X系列
測量元素	原子序數(shù)13 (Al)～83 (Bi)
X 射線管	管電壓：50kV 管電流：1mA
檢測器	半導(dǎo)體檢測器(無液化氮)
X 射線聚光	聚光導(dǎo)管方式
X射線照射尺寸	Φ0.1mm	Φ30μm
樣品觀察	CCD攝像頭(帶變焦功能)
對焦	激光對焦
一次濾波器(電動切換)	選購項	有
X-ray Station	電腦 (OS: Windows) 19英寸液晶顯示屏
打印機(jī)	噴墨打印機(jī)(選購項)
鍍層厚度測量軟件	薄膜FP法(5層、各層10種元素) 標(biāo)準(zhǔn)曲線法(單層、雙層、合金鍍層成分)
定量分析軟件	塊體FP法、塊體標(biāo)準(zhǔn)曲線法	無
測量功能	自動測量、中心搜索、圖像處理
修正功能	底材修正、已知樣品修正
定性功能	KLM標(biāo)記功能、比較顯示
統(tǒng)計處理功能	配備MS-EXCEL?
報告生成功能	配備MS-WORD?
安全功能	樣品門聯(lián)鎖防沖撞功能
使用電源	100V/15A 帶地線的3孔插座