產(chǎn)品點(diǎn)
四探針測(cè)試儀是根據(jù)單晶硅物理測(cè)試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）測(cè)試用儀器。
儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件，采用旋扭式開(kāi)關(guān)控制，及各種工作狀態(tài)LED指示。應(yīng)用微計(jì)算機(jī)，使得測(cè)量讀數(shù)更加直觀、快速。整套儀器體積小、功耗低、測(cè)量精度、測(cè)試速度快、穩(wěn)定性好、易操作。


測(cè)量范圍 電阻率/Range：10-4—105Ω/□（可擴(kuò)展/extended range） 方塊電阻（薄層電阻） /Sheet resistance：10-3—106Ω/□ 電阻/resistance：10-6—105Ω
可測(cè)晶片直徑（Z大） φ100mm（標(biāo)配），方形230×220mm（Z大）
Z大電阻測(cè)量誤差（按JJG508-87）
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%讀數(shù)±2個(gè)字
外形尺寸 400mm×440mm×120mm
儀器重量 電氣主機(jī)：約4kg 　　測(cè)試臺(tái)：約5kg
測(cè)試環(huán)境 溫度：23±2℃ 相對(duì)濕度：≤65％； 無(wú)頻干擾 無(wú)強(qiáng)光照射
電源 220V±10%（50Hz） 功耗≤35W
備注 具備電腦接口