當(dāng)前位置:三英精控(天津)儀器設(shè)備有限公司>> NS-X20-01X軸納米定位臺
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更新時(shí)間:2025-06-01 17:51:10瀏覽次數(shù):75次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 儀表網(wǎng)三英精控納米臺特點(diǎn)
平:得益于的硬件設(shè)計(jì),有效地減少三維偶聯(lián)影響,保證納米臺全行程的平整度。
準(zhǔn):電容傳感器的應(yīng)用及*的控制模式和算法,保證納米臺的運(yùn)動精度。
穩(wěn):優(yōu)異的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及優(yōu)良的電容傳感器特性,保證了納米臺長時(shí)間的穩(wěn)定性。
NS-X20-01X軸納米定位臺典型應(yīng)用:
顯微成像、光學(xué)移相、生物材料分析、光學(xué)、光柵刻寫、光學(xué)對準(zhǔn)、測量、激光領(lǐng)域、半導(dǎo)體加工。
納米位移系統(tǒng)的應(yīng)用越來越廣泛,從原子力顯微鏡、精密光學(xué)設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備到各種*行業(yè)。納米位移系統(tǒng)能夠產(chǎn)生和測量優(yōu)于納米(nm)的位移,整個(gè)系統(tǒng)包含3部分:納米位移臺、控制器和控制軟件。
納米位移臺是一種機(jī)械裝置,內(nèi)部有一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷,由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動。三英設(shè)計(jì)和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈將技術(shù)將運(yùn)動裝置連接到固定基座上。納米位移臺內(nèi)置精密傳感器,閉環(huán)控制時(shí),三英的傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下,可以實(shí)現(xiàn)納米級別、亞納米級別的分辨率。
控制器為納米位移臺提供電源。在閉環(huán)控制時(shí),納米位移臺內(nèi)部的傳感器為控制器提供位移數(shù)據(jù)。控制器周期性的處理位移數(shù)據(jù)并修正輸出電壓信號,從而使位移數(shù)據(jù)與指令數(shù)據(jù)相同。
三英提供簡單易用的軟件。納米位移系統(tǒng)通常作為大型設(shè)備的一個(gè)部件,因而納米位移系統(tǒng)與其他硬件良好配合是相當(dāng)重要的。三英控制器對外通信方式有多種,常用的方式是通過BNC模擬信號(-10V~10V)控制納米位移臺的位移。還可以通過USB接口和數(shù)字IO實(shí)現(xiàn)與控制器的通信。三英控制器內(nèi)部軟件實(shí)現(xiàn)了基于PID算法、陷波濾波器的閉環(huán)控制,內(nèi)部集成了正弦波、方波和三角波的波形發(fā)生器。
如有客戶需求,三英可以對納米位移運(yùn)動控制系統(tǒng)進(jìn)行量身定制,以提供及時(shí)、滿意的技術(shù)支持與服務(wù)。
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