典型應(yīng)用：激光加工、激光瞄準(zhǔn)、遠(yuǎn)距離通訊、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)。

高速偏擺鏡采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，內(nèi)部使用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用有限方針?lè)治鰞?yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)。高速偏擺鏡內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，確保了高速偏擺鏡具有的運(yùn)動(dòng)控制精度，定位精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，緊湊型設(shè)計(jì)，可以更好的集成于光學(xué)系統(tǒng)。