專為機(jī)床測校用戶開發(fā)通用型高精度激光干涉儀

采用單頻激光，雙縱模穩(wěn)頻技術(shù)

緊湊設(shè)計(jì)，適合外出服務(wù)攜帶

自動環(huán)境補(bǔ)償，不同溫度、濕度、壓力環(huán)境中也能精確檢測

直觀的測量及分析軟件，輕松完成各種復(fù)雜的機(jī)床檢測工作

單頻激光干涉儀采用單頻測量技術(shù)，擁有自主知識產(chǎn)權(quán)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國外產(chǎn)品同等水平。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測，是高精度線性位移測量、數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺校準(zhǔn)的高效率量測工具。

系統(tǒng)組成：

單頻激光頭及附件

環(huán)境補(bǔ)償單元

Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件

線性位移測量鏡組（選配：角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等）

光學(xué)調(diào)整附件

三腳架及其他測量附件

技術(shù)規(guī)格：

1、測量方式：單頻

2、激光穩(wěn)頻精度：±0.05ppm

3.真空波長：632.99nm

4.激光功率：>0.5mW

5.激光光束直徑：6 mm

6.波長補(bǔ)償精度：±0.5ppm

7.預(yù)熱時(shí)間：<>

8.測量長度范圍：0-40m

9.測量精度：±0.5ppm*

10.精度范圍0℃-40℃

11.分辨率：1nm

12.測量速度：4m/s

13.系統(tǒng)測量能力：線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度

14.接口：內(nèi)置 USB 通訊端口，無需單獨(dú)接口