雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀。傳統(tǒng)單頻激光干涉儀采用單頻技術，容易受到外界環(huán)境干擾，微小的空氣湍流都會引起直流電平變化從而影響測量結果，這是單頻干涉儀的一個根本弱點。在測試環(huán)境惡劣或測量距離較長時，這一缺點十分突出，而雙頻激光干涉測量儀正好克服了這一缺點。雙頻干涉儀使用雙頻激光，其干涉信號是一個頻率約為1.5-8 M H z的交流信號，當可動棱鏡移動時，雙頻干涉儀的干涉信號只是使原有的交流信號頻率增加或減少了△f，結果依然是一個交流信號。這個交流信號頻率的改變取決于可動棱鏡位置的變化，不受直流光平和電平變化的影響，因此抗干擾能力強，適合在各種環(huán)境條件下開展檢測作業(yè)。

雙頻激光干涉測量儀采用外差技術，對環(huán)境干擾不敏感，先天具有抗干擾性好，工作穩(wěn)定的特點，適合在車間生產環(huán)境中使用。本套雙頻激光干涉儀，基于清華大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室多年研發(fā)的核心技術，擁有自主知識產權，技術指標達到或優(yōu)于國外產品同等水平。本套雙頻激光干涉儀通過與不同的光學組件結合，可實現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測，是高精度線性位移測量、數(shù)控機床校準、三坐標機校準、光學平臺校準的高效率量測工具。

系統(tǒng)組成：

雙頻激光頭及附件

環(huán)境補償單元

Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件

線性位移測量鏡組（選配：角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等）

光學調整附件

三腳架及其他測量附件

產品優(yōu)勢：

采用雙頻激光，測量精度高

緊湊設計，適合外出服務攜帶

抗干擾能力強，大型機床長距離檢測時也能保證穩(wěn)定精準

自動環(huán)境補償，不同溫度、濕度、壓力環(huán)境中也能精確檢測

符合測校國家標準的測量分析軟件

自動生成測量數(shù)據(jù)報表和誤差校正補償文件。

典型頻差7±0.5MHz，測速高達2m/s。