浙江高精度氣體流量控制器

流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細(xì)管時(shí)產(chǎn)生的溫度場變化 來測量氣體質(zhì)量流量，通過電橋?qū)囟葓龅淖兓D(zhuǎn)化為電信號并經(jīng)過電 路放大、濾波處理，處理后的信號采集進(jìn)處理器芯片，再通過氣體流量 外標(biāo)法和溫壓補(bǔ)償?shù)玫綔?zhǔn)確的真實(shí)氣體流量值。氣體實(shí)際流量值與流量 設(shè)定值進(jìn)行比較,  將差值通過智能算法去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過 通道的流量使之與流量設(shè)定值相等，實(shí)現(xiàn)氣體流量的精準(zhǔn)控制

MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng)，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。