熱式質(zhì)量流量計
熱式質(zhì)量流量計（thermal mass flowmeter, TMF）是利用傳熱原理槍側(cè)流量的儀表.
即利用流動的流體與熱源天然氣流量計（流體通道內(nèi)加熱體或管壁外加熱體）之間熱食交換關(guān)系來洲2流
量的儀表。
20世紀60年代，美國首先為宇航業(yè)所需氣體質(zhì)量控側(cè)開發(fā)出TMF正式產(chǎn)品，其后應(yīng)
用于半導(dǎo)體工業(yè)的制造設(shè)備上，得到很大發(fā)展，后又擴展到其他工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域。近年還在工
亞應(yīng)用上從側(cè)盆氣體擴大到側(cè)盆液體。
由于氣體TMF日趨成熟且應(yīng)用面不斷拓寬，標準化組織（ISO）已制定有關(guān)“規(guī)
范、槍臉、安裝、運行和校準.氣體TMF的標準ISO 14511, 2001.
世界工業(yè)發(fā)達國家已有眾多制造企業(yè)生產(chǎn)TMF和熱式沈Z開關(guān)《thermal flow switch）
投放市場.20世紀90年代初中期，世界范田TMF梢青極占流盆儀表的3%0-8%*，年鈉
杏臺數(shù)1.75萬.^-4.5萬.臺。
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