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行業(yè)產(chǎn)品

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泓惟自動化系統(tǒng)工程（上海）有限公司


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BROOKS 9861

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間：2024-08-13 07:29:49瀏覽次數(shù)：38次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：201條

所在地區(qū)：上海上海

產(chǎn)品簡介

BROOKS 9861

詳細(xì)介紹

9861 系列高溫質(zhì)量流量控制器和儀表

提升高溫流量控制的準(zhǔn)確性和效率
型號 9861

布魯克斯儀器 9861 系列高溫?zé)豳|(zhì)量流量控制器和儀表專為在高溫相關(guān)苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設(shè)計，該產(chǎn)品采用高純度、無泄漏一體化金屬流路，可確保兼容所有過程氣體和蒸汽。獲得的 IsoSensor™ 是一種穩(wěn)定性的流量傳感器，可兼容加熱氣體管線和烘干系統(tǒng)中苛刻的環(huán)境溫度。IsoSensor™ 傳感器的超低漂移性能可使高溫應(yīng)用無需頻繁重新調(diào)零和重新校準(zhǔn)。

特點

  • 超穩(wěn)定的 IsoSensor™ 流量測量傳感器
  • 高純度流路
  • 遠(yuǎn)程控制電子元件（標(biāo)配兩個模擬電子連接器）
  • 數(shù)字測量和控制架構(gòu)

優(yōu)勢

  • 傳感器穩(wěn)定性高，可保障超長運(yùn)行時間、減少維護(hù)工作并降低總體擁有成本
  • 全金屬接液流路可確保氣體/蒸汽完整性和純度
  • 包括 20 引腳卡緣連接器和 9/15 引腳“D"連接器，可實現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化并減少庫存
  • 強(qiáng)化準(zhǔn)確性和過程控制

應(yīng)用

  • 光纖制造 - MCVD
  • 硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝


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