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行業(yè)產(chǎn)品

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泓惟自動化系統(tǒng)工程（上海）有限公司


BROOKS GF80

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間：2024-08-13 07:27:38瀏覽次數(shù)：41次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：201條

所在地區(qū)：上海上海

產(chǎn)品簡介

BROOKS GF80

詳細介紹

GF80 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表

提升價值驅動型金屬密封應用的性能標準
型號 GF80

對于許多工業(yè)和半導體加工過程，性能和成本效率同樣重要。GF80 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器擁有以下兩個特點：設計采用與的 GF100 系列響應速度相同的傳感器以及第四代 MultiFlo™ 技術，該產(chǎn)品是高性價比運營的正確選擇。另外，金屬密封的 MFC 擁有 MultiFloTM 多氣體/多量程功能所帶來的全部優(yōu)勢，原因是可用氣體方面沒有限制并且由于不會發(fā)生彈性體氧滲透而提升了氣體純度，同時還由于金屬密封件有效期相當長而減少了維護工作量。

特點

  • 長期零點穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%
  • 1 秒內(nèi)穩(wěn)定
  • 滿量程流速高達 300 slpm
  • 全金屬密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面處理
  • 耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器可在較低溫度下工作，適用于易發(fā)生熱分解的氣體
  • 可編程 MultiFloTM 功能 - 一臺設備即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
  • 通過有源溫度補償實現(xiàn)的溫度系數(shù)規(guī)范
  • 內(nèi)嵌式常規(guī)自檢功能和獨立的診斷/維護端口
  • 帶有 VCR 配件的細線體設計
  • DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模擬接口

優(yōu)勢

  • 1 秒完成流量穩(wěn)定，消除廢氣和過程變量影響
  • 未采用會發(fā)生氧滲透并且使用一定時間之后需要進行更換的彈性體密封件
  • MultiFloTM 精簡了過程氣體切換操作 — 無需再拆除并重新校準 MFC
  • 60 秒內(nèi)即可完成新氣體和/或量程的設定操作
  • 測量精度不受溫度變化影響
  • 可輕松訪問診斷端口以實現(xiàn)運行時間
  • 規(guī)格緊湊，可輕松集成至緊張的設備空間內(nèi)；設備改型的選擇
  • 多協(xié)議通信接口可簡化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作

應用

  • 對翻新后的半導體加工工具中的原有 MFC 進行經(jīng)濟高效的改型/升級
  • 減少六英寸/八英寸半導體工廠的 MFC 庫存
  • 用于 LED 和功率器件生產(chǎn)的 MOCVD
  • 太陽能/薄膜化學氣相沉積 (CVD) 系統(tǒng)
  • 分析用 OEM 設備


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