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行業(yè)產(chǎn)品

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泓惟自動化系統(tǒng)工程（上海）有限公司


BROOKS GF100

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間：2024-08-13 07:26:33瀏覽次數(shù)：38次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：201條

所在地區(qū)：上海上海

產(chǎn)品簡介

BROOKS GF100

詳細介紹

速、準的MFC

加強了擁有EtherCAT®的速度
型號 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126

針對半導體工藝的性能

  • 嵌入式診斷利用實時以太網(wǎng)數(shù)據(jù)采集能力
  • 超穩(wěn)定流量傳感器（每年≤設定值0.15%的漂移）使低流量更精準，同時減少維修的需求
  • 改進的閥門關閉（≤bin范圍的0.15%）減少閥門內(nèi)漏，從而改善片晶圓效應
  • 新增強的抗壓力瞬時波動在持續(xù)流體傳輸中降低了串擾流敏感度

特點

  • 每年<>
  • 響應穩(wěn)定時間: 300毫秒 - <>
  • 流量可達到300 slpm
  • 全金屬密封的流體通路：可選5µ 或 10µ inch Ra的表面粗糙度
  • 抗腐蝕的哈氏合金升溫傳感器在溫度升高時改善了測量的重復性
  • MultiFloTM 氣體和量程的可編程性—一臺表，幾千種氣體和量程的組合，無需把MFC從管路上拆除，也不會影響精度
  • 方便的用戶顯示和獨立的診斷/服務端口可幫助儀表安裝，監(jiān)測和故障排查
  • GF120 安全傳輸系統(tǒng)(SDS®)是布魯克斯的低壓降質(zhì)量流量控制計，用于離子注入和刻蝕工藝的負壓安全傳輸系統(tǒng)的氣體傳輸 

優(yōu)勢

  • 超常的性能
    • 快速反應時間改進應用效率
  • 靈活的拓撲
    • 幾乎無限的網(wǎng)絡拓撲可能
  • 簡單、堅固
    • 配置，診斷以及維護
  • 負擔能力
    • 標準的以太網(wǎng)端口

應用

  • 半導體刻蝕設備
  • 薄膜化學氣相沉積系統(tǒng) (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • 物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
  • 外延工藝系統(tǒng)


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