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Cascade TESLA200 200mm半/全自動晶圓級大功率探針臺

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更新時間：2023-07-17 08:01:25瀏覽次數(shù)：161次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介新型TESLA200專為晶圓級IGBT/功率MOSFET（GaN，SiC，Si）器件測量而設(shè)計

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介

新型TESLA200專為晶圓級IGBT/功率MOSFET（GaN，SiC，Si）器件測量而設(shè)計。該系統(tǒng)經(jīng)過精心設(shè)計，可提供高達(dá)3kV（三軸）/10kV（同軸）和200A（標(biāo)準(zhǔn)）/600A（大電流）測量的準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。具有下一代測量功能，包括防電弧設(shè)計，自動測量以及對工程探針和量產(chǎn)探卡的支持。Tesla200可以全自動完成薄片/翹曲片/Taiko片在完整溫度范圍（-55℃至300℃）內(nèi)的測量。一套系統(tǒng)可以滿足從研發(fā)到量產(chǎn)的所有晶圓級功率測試需求。

產(chǎn)品特性

TESLA200還支持新的應(yīng)用，可用于具有挑戰(zhàn)性的高功率測量，例如靜態(tài)靜態(tài)HV測試（高達(dá)400°C時低漏電），以及動態(tài)功率測試（例如UIS），使用新的超低殘留電容和電感的高低溫載物臺和常溫載物臺。

新型TESLA200具有半自動和全自動模型，具有可擴展性和現(xiàn)場升級性，可以滿足任何預(yù)算要求。該系統(tǒng)是在單個或大量晶片上盡快收集高精度測量數(shù)據(jù)的理想選擇，可用于研發(fā)，器件表征/建?；蛄慨a(chǎn)應(yīng)用。

Tesla200植入AttoGuard® ａnd MicroChamber®技術(shù)，明顯提升了低漏電和小電容的測試能力。與FormFactor FemtoGuard™ 高低溫載物臺技術(shù)相結(jié)合，Tesla200可以提供超低噪聲，保護(hù)和屏蔽的測試環(huán)境。再結(jié)合MicroVac™技術(shù)，保證低接觸阻抗，薄片測量。

為了確保在高壓測量過程中的安全性，TESLA200晶圓上功率半導(dǎo)體探測系統(tǒng)采用了TUV認(rèn)證的安全互鎖系統(tǒng)，并集成了符合人體工程學(xué)的透明外殼。 TESLA200具有*的200毫米快速工作臺，自動晶圓裝載器和薄晶圓處理能力，可為科學(xué)家，研發(fā)/測試工程師或生產(chǎn)操作員提供快速完成工作所需的一切。