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FRT MicroProf 300晶圓量測(cè)系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2023-07-17 07:50:27瀏覽次數(shù)：93次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品簡(jiǎn)介FRTMicroProf300是高性能和多功能MicroProf一代的一部分，采用多傳感器技術(shù)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

FRT MicroProf 300是高性能和多功能MicroProf一代的一部分，采用多傳感器技術(shù)。該系統(tǒng)可用于質(zhì)量保證、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)等方面，在不破壞樣品的情況下，可確定與理想表面形狀的最小偏差，表面測(cè)量精度可低至亞微米范圍。除表面粗糙度外，形狀也是最重要的測(cè)量參數(shù)之一。FRT MicroProf 300非常適合這些需求，也可以集成到自動(dòng)化的晶圓產(chǎn)線中。豐富的傳感器類型和晶圓雙面測(cè)量選項(xiàng)(TTV)，使MicroProf 300可以完成各種測(cè)量任務(wù)。此外，測(cè)量的簡(jiǎn)單自動(dòng)化提高了生產(chǎn)效率和工藝可靠性。

產(chǎn)品特性

全范圍的多傳感器設(shè)置可用

集成CCD相機(jī)，附加照明

高精度電機(jī)傳感器

垂直拼接功能，擴(kuò)大高度測(cè)量范圍

快速xy精密工作臺(tái)，運(yùn)動(dòng)定位精度高

穩(wěn)定的花崗巖結(jié)構(gòu)，具有優(yōu)良的阻尼性能

簡(jiǎn)單有效的控制與FRT Acquire軟件

通過(guò)FRTs Acquire Automation XT計(jì)量軟件實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化2D和3D測(cè)量

用戶友好的FRT Mark III評(píng)估軟件與豐富的評(píng)估和顯示選項(xiàng)

符合DIN-ISO和SEMI標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品應(yīng)用