成都信賽賽思科技有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地成都市
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更新時間：2023-07-17 07:45:54瀏覽次數(shù)：84次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)產(chǎn)品簡介FRTMicroProfFS是一款全自動晶圓計量系統(tǒng)，可廣泛用于晶圓代工生產(chǎn)產(chǎn)線，可選用標準或定制的解決方案
產(chǎn)品簡介
FRT MicroProf FS是一款全自動晶圓計量系統(tǒng)，可廣泛用于晶圓代工生產(chǎn)產(chǎn)線，可選用標準或定制的解決方案。
在半導體制造工藝中，靈活性和多功能性是計量解決方案的關鍵。MicroProf FS提供了一個模塊化的方法來集成一個自動化的多傳感器系統(tǒng)，可以解決所有目標測量任務。
對于其核心計量組件，經(jīng)過驗證的FRT MicroProf 300多傳感器計量工具可用于測量不同的產(chǎn)品，并通過混合計量理念的應用，提高了單傳感器或測量原理無法達到的樣品測量精度。MicroProf FS的測量系統(tǒng)配備了一個花崗巖底座，與一個三點支撐樣品夾具或真空chuck。
產(chǎn)品特性
全自動多傳感器技術
適用于MEMS和晶圓廠
可定制的豐富應用
標準化的硬件集成與定制化的計量解決方案
可處理各種基底類型
強大的測試軟件，自動化2D和3D表面計量
產(chǎn)品應用
涂覆晶圓
晶圓光刻工藝
MEMS晶圓，加速度傳感器、壓力傳感器、微光學芯片
晶圓3D封裝工藝
薄膜層堆疊
規(guī)格參數(shù)
XY軸掃描行程 | 440 mm x 305 mm |
XY軸編碼器分辨率 | 50 nm |
XY軸掃描速度 | 300 mm/s |
Z軸行程 | 50 mm (100 mm 可選) |
載重能力 | 5kg |
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