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Hamamastu PHEMOS-1000 微光顯微鏡

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更新時間：2023-07-17 07:44:11瀏覽次數(shù)：79次

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成都信賽賽思科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介PHEMOS-1000是一款高分辨率的微光顯微鏡，通過偵測半導(dǎo)體缺陷引起的微弱的光發(fā)射和熱發(fā)射來準確定位半導(dǎo)體器件的失效位置

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產(chǎn)品簡介

PHEMOS-1000是一款高分辨率的微光顯微鏡，通過偵測半導(dǎo)體缺陷引起的微弱的光發(fā)射和熱發(fā)射來準確定位半導(dǎo)體器件的失效位置。

設(shè)備既可以與通用型探針臺組合使用，也可搭載濱松Tilt Stage配合Nano Lens進行動態(tài)失效分析。PHEMOS-1000支持從Probe Card到12英寸大尺寸晶圓的多種任務(wù)和應(yīng)用范圍需求。

產(chǎn)品特性

激光掃描系統(tǒng)
高靈敏度近紅外相機進行光發(fā)射分析（根據(jù)客戶樣品特點對不同波長范圍的光發(fā)射探測可以選配不同型號相機，InGaAs, C-CCD, Si-CCD, Emmi-X）
高靈敏度中紅外Thermal相機進行熱分析
激光誘導(dǎo)阻值變化分析（OBIRCH）
Nano Lens 進行高分辨率、高靈敏度分析
連接測試機進行動態(tài)分析

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體失效分析

規(guī)格參數(shù)

供電電壓	AC200 V (50 Hz/60 Hz)
功耗	Approx. 1400 VA (Max. 3300 VA)
真空需求	Approx. 80 kPa or more
壓縮空氣需求	0.5 MPa to 0.7 MPa
尺寸/重量	Main unit: 1340 mm (W)×1200 mm (D)×2110 mm (H), Approx. 1500 kg Control rack: 880 mm (W)×820 mm (D)×1542 mm (H), Approx. 150 kg Operation desk: 1000 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H), Approx. 45 kg