成都信賽賽思科技有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地成都市
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更新時間：2023-07-17 07:28:04瀏覽次數(shù)：45次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)產(chǎn)品簡介ThermoScientificOptiFIBTaipan系統(tǒng)是一款強大的聚焦離子束電路編輯系統(tǒng)，專注于優(yōu)化10nm工藝節(jié)點
產(chǎn)品簡介
Thermo Scientific OptiFIB Taipan 系統(tǒng)是一款強大的聚焦離子束電路編輯系統(tǒng)，專注于優(yōu)化10nm工藝節(jié)點。其具有的成像分辨率和切割精度、的離子束定位精度、低系統(tǒng)漂移，因而具備更高的成功率和生產(chǎn)率。OptiFIB Taipan 系統(tǒng)還具有的以電路編輯為核心的化學反應(yīng)和軟件自動化，以進一步提升使用性。
電路編輯技術(shù)提供了納米加工能力，可以在集成電路制造過程的各個點對微小的設(shè)計修正，為開發(fā)人員創(chuàng)建少量功能芯片，并解決可靠性問題。
產(chǎn)品特性
超高的FIB分辨率成像和低電流離子束銑削
Super-SED具有更高的信噪比和端點靈敏度
的同軸離子-光子束流柱
*的氣體輸送系統(tǒng)
*的支持行業(yè)經(jīng)驗證的PIAscan引擎
產(chǎn)品應(yīng)用
失效分析
微組裝
規(guī)格參數(shù)
FIB Column | Ion-Photon Coaxial Taipan column forbackside and frontside circuit edits |
FIB image resolution | 2.7 nm @250 fA and 30 kV (Thermo Scientific graphite sample) |
Acceleration voltage | 0.5–30 kV |
Beam current | 250 fA–20 nA |
Stage travel (X,Y,Z) | 75 mm x 75 mm x 20 mm |
Beam stability/drift control | 4 nm/min |
Conductor resistivity | ≤ 200 μΩ?cm |
Insulator resistivity | ≥ 1E15 μΩ?cm |
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