成都信賽賽思科技有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地成都市
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更新時間：2023-07-17 07:26:41瀏覽次數(shù)：44次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)產(chǎn)品簡介V400ACE聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)整合了離子柱設(shè)計、氣體輸送和端點檢測的成果，為*的集成電路提供快速、高效、經(jīng)濟有效的加工修改
產(chǎn)品簡介
V400ACE聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)整合了離子柱設(shè)計、氣體輸送和端點檢測的成果，為*的集成電路提供快速、高效、經(jīng)濟有效的加工修改。
電路編輯可以讓產(chǎn)品設(shè)計師在數(shù)小時內(nèi)更改導(dǎo)電通道和測試修改后的電路，而不是需要幾周或幾個月來生成新的掩模和加工新的晶圓。 更少、更短的修改和測試周期允許制造商加速新工藝，以更快地獲得高產(chǎn)量的利潤，并推出定價更高的新產(chǎn)品。 V400ACE是專門為滿足*設(shè)計和工藝的挑戰(zhàn)而設(shè)計的:更小的幾何尺寸、更高的電路密度、奇異的材料和復(fù)雜的互連結(jié)構(gòu)。
產(chǎn)品特性
快速，精確的電路修改
納米化學(xué)氣體輸送系統(tǒng)
同時繪制SE和樣品電流圖，提高了端點檢測能力
快速、準(zhǔn)確的橫截面顯示缺陷
可選的背面編輯能力與近紅外顯微鏡
產(chǎn)品應(yīng)用
失效分析
微組裝
規(guī)格參數(shù)
Ion Column | Tomahawk, Ga liquid metal 1000 hour lifetime |
Acc. Voltage | 0.5 kV – 30 kV |
Beam Current | 1.1 pA – 65 nA |
Image Resolution | 4.5nm |
Stage | 5-axes motorized eucentric X, Y motion 100 mm Tilt -10° to 60° Rotation 360° |
End Point Detect | Simultaneous SE/specimen current auto scaled plots |
Key options | Charge Neutralizer (electron flood gun) Bulk Si Trenching IR Microscope Electrical Feedthroughs |
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