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更新時間:2023-07-17 07:25:18瀏覽次數(shù):50次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)產(chǎn)品簡介MetriosDX是一款80-200kV掃描/透射電子顯微鏡,可提供基于TEM和S/TEM的可重復(fù)成像、分析和測量的計量結(jié)果,具有的吞吐量水平
產(chǎn)品簡介
Metrios DX是一款80-200kV掃描/透射電子顯微鏡,可提供基于TEM和S/TEM的可重復(fù)成像、分析和測量的計量結(jié)果,具有的吞吐量水平。
Thermo Scientific Metrios DX TEM結(jié)合了經(jīng)過驗證的技術(shù)和創(chuàng)新的新功能,是半導(dǎo)體和存儲環(huán)境的平臺,應(yīng)對越來越復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和收縮的幾何形狀,具備更大尺寸的精確測量能力。
除了新的硬件,Metrios DX TEM還配備了新的軟件功能,以改善數(shù)據(jù)傳輸速度。靈活的圖像采集(FIT+)可以在任何類型的結(jié)構(gòu)上實現(xiàn)自動化,不需要任何測試程序修改。用戶可以在多個樣品上定義感興趣的TEM、S/TEM和EDS采集區(qū)域,F(xiàn)IT+將自動獲取數(shù)據(jù)。同時Metrios DX TEM收集數(shù)據(jù)并上傳到Image Viewer數(shù)據(jù)庫。Metrios DX TEM的設(shè)計具有的易用性,是經(jīng)驗豐富的顯微鏡專家和新用戶的理想選擇。靈活的用戶界面允許全自動化計量和采集、半自動化操作或手動數(shù)據(jù)采集。自動圖像采集與自動計量相結(jié)合,極大地提高了數(shù)據(jù)精度。
產(chǎn)品特性
超穩(wěn)定、高亮度肖特基場發(fā)射槍(X-FEG),確保高亮度和高發(fā)射電流
對稱物鏡,有5.6毫米寬的極片間隙
Thermo Scientific Constant Power Lens,模式切換的熱穩(wěn)定性更高
全數(shù)字系統(tǒng),智能攝像頭
計算機化的5軸樣品壓電平臺,精確存儲樣品位置
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體失效分析
規(guī)格參數(shù)
tension range | 80-200 keV | |
Electron source | X-FEG | |
TEM information limit | 0.11 nm | |
Probe corrector option | No | Yes |
STEM resolution at 200kV (nm) | 0.164 | 0.083 |
STEM resolution at 80kV (nm) | 0.31 | 0.136 |
EDS collection angle(shadowing removed) | 1.8 srd | |
STEM detectors | HAADF/BF/DF2/DF4 | |
Camera | Ceta 4k × 4k CMOS |
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