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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
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更新時間:2023-07-17 07:22:30瀏覽次數(shù):62次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)產(chǎn)品簡介UF2000全自動探針臺支持200mm晶圓的測試,系統(tǒng)采用高精度、高剛性機(jī)床,穩(wěn)定性與精度相比前代產(chǎn)品有巨大提升
產(chǎn)品簡介
UF2000全自動探針臺支持200mm晶圓的測試,系統(tǒng)采用高精度、高剛性機(jī)床,穩(wěn)定性與精度相比前代產(chǎn)品有巨大提升。
UF2000全自動探針臺采用了高剛性和高速操作技術(shù),提高了精度和產(chǎn)量。
UF2000全自動探針臺可選擇的配置選項(xiàng)多種多樣,可實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體行業(yè)不標(biāo)準(zhǔn)的各種晶圓測試。
產(chǎn)品特性
測試環(huán)境覆蓋超高到低溫
用于測試頭的鉸鏈?zhǔn)綑C(jī)械手
利用特殊的轉(zhuǎn)移機(jī)制進(jìn)行翹曲及超薄晶圓的轉(zhuǎn)移
FFU實(shí)現(xiàn)清潔的測試環(huán)境
低噪聲測試環(huán)境
高壓測試環(huán)境
針跡檢查功能
產(chǎn)品應(yīng)用
晶圓級電性能測試
晶圓允收測試
規(guī)格參數(shù)
晶圓尺寸 | 5英寸,6英寸和8英寸 |
可測試die尺寸 | 0.25 - 100 mm (間距0.1 μm) 10 - 3900 mil(間距0.01 mil) |
總體精度 | 4μm |
X/Y軸行程 | ±120 mm |
X/Y軸速度 | 300 mm/s |
Z軸總行程 | 69 mm |
Z軸測試行程 | 0.5 mm |
Z軸速度 | 30 mm/s |
Z軸分辨率 | 0.25 μm |
Theta軸調(diào)節(jié)范圍 | ±5° |
Theta軸精度 | 0.00024°(直徑200mm晶圓邊緣處約0.4μm) |
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