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Park Systems原子力顯微鏡 XE-15

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更新時(shí)間：2023-02-09 09:22:10瀏覽次數(shù)：568次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Park Systems原子力顯微鏡 XE-15，具有全面的樣品兼容性。其多種樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，為不同尺寸、形狀、數(shù)量的樣品提供了方便可靠的測(cè)試環(huán)境。解耦合的閉環(huán)XY掃描器，消除了彎曲效應(yīng)誤差，提供了的線性度。真正的非接觸掃描模式，擴(kuò)大了適合樣品種類(lèi)，同時(shí)極大地延長(zhǎng)了探針壽命，降低了使用成本。

詳細(xì)介紹

Park Systems原子力顯微鏡 XE-15

儀器簡(jiǎn)介:

Park XE-15具有全面的樣品兼容性。其多種樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，為不同尺寸、形狀、數(shù)量的樣品提供了方便可靠的測(cè)試環(huán)境。解耦合的閉環(huán)XY掃描器，消除了彎曲效應(yīng)誤差，提供了的線性度。真正的非接觸掃描模式，擴(kuò)大了適合樣品種類(lèi)，同時(shí)極大地延長(zhǎng)了探針壽命，降低了使用成本。

Park Systems原子力顯微鏡 XE-15技術(shù)參數(shù)：

掃描器

XY掃描器

柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器

掃描范圍100μm*100μm（可選50μm*50μm）

平面偏移度:<2nm（40μm*40μm掃描）

Z掃描器

柔性制導(dǎo)強(qiáng)力掃描器

掃描范圍12μm（可選25μm）

共振頻率：>5kHz

表面成像噪聲：0.03nm

樣品臺(tái)