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西特Setra 730 真空電容式壓力計

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更新時間：2022-01-17 15:41:58瀏覽次數(shù)：108次

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產(chǎn)品簡介

西特Setra的730型是一款高精度的電容式壓力計（亦稱電容式膜片真空計(CDG)），適合在光伏、半導體和工業(yè)市場中測量對過程控制至關(guān)重要的低真空范圍

詳細介紹

西特Setra 的730 型是一款高精度的電容式壓力計（亦稱電容式膜片真空計 (CDG)），適合在光伏、半導體和工業(yè)市場中測量對過程控制至關(guān)重要的低真空范圍。

西特Setra 的730 型是一款高精度的電容式壓力計（亦稱電容式膜片真空計 (CDG)），適合在光伏、半導體和工業(yè)市場中測量對過程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精度達±0.5%，分辨率高，優(yōu)于同類產(chǎn)品。730 型使用全InconelTM 接液材料，可承受半導體加工過程中的腐蝕性介質(zhì)。由于采用直接測量設(shè)計，它能精確測量介質(zhì)，不受應用中氣體混合物成分的影響。

適合苛刻應用的高性能產(chǎn)品

采用單膜片可變電容感應元件，適用于苛刻的半導體和工業(yè)真空應用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動態(tài)范圍寬的特點，使之成為關(guān)鍵制造過程中的理想選擇。

Inconel® 設(shè)計保證通用性

所有接液部件均采用Inconel® 材料，因此對半導體和工業(yè)真空過程中的腐蝕性介質(zhì)具有*的耐受性。

Inconel®材料結(jié)合全焊接結(jié)構(gòu)，確保730型在這類應用中的長使用壽命。

直接壓力測量

內(nèi)置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計不同，730型測量直接壓力，不受被測混合氣的影響，這使其精度優(yōu)于間接測量型壓力計。

應用

·半導體處理室

·石化

·等離子體滅菌器

·真空包裝