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Brooks質(zhì)量流量控制器用數(shù)據(jù)線
0152控制箱 顯示儀表 電源、讀數(shù)和設(shè)定控制器（已停產(chǎn)）
SLA5820數(shù)字橡膠密封壓力式質(zhì)量流量計(jì)
數(shù)字橡膠密封;
流量范圍:0-30 slpm;
精度:±0.5% of FS;
工作壓力:1450 psia
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