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Brooks質(zhì)量流量控制器用數(shù)據(jù)線
0152控制箱 顯示儀表 電源、讀數(shù)和設定控制器（已停產(chǎn)）
4860_模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(51C41L)
模擬橡膠密封;
流量范圍:50 sccm-40 slpm;
精度:±3.0% of FS;±1.0% of FS;
壓力:0-150 psig;
閥門:
閥門常閉:<0.3V;
閥門常開:>4.8V
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