用芯制造，安全有譜

應(yīng)用于半導(dǎo)體等高科技制造領(lǐng)域   

搭載多種原理的智能傳感器組件 

可檢測40多種低濃度有毒有害氣體

行業(yè)介紹

2016年起，國內(nèi)開始積極投資建設(shè)晶圓廠，陸續(xù)掀起建廠熱潮。2020年~2022年是國內(nèi)晶圓廠投產(chǎn)高峰期，未來3年將迎來密集投產(chǎn)。

其中電子特氣作為半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過程中*的關(guān)鍵性化工材料，從芯片生長到器件封裝，幾乎每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特氣。常見的有SiH4、PH3、AsH3等，核心工段常見的有40余種，總計100多種。電子特氣雖是半導(dǎo)體行業(yè)的“血液"，但它的危害也非常多，包括毒性、自燃性等。一方面，這些特殊氣體對人體有害，另一方面，易燃易爆氣體的泄漏易引發(fā)火災(zāi)爆炸事故。

為防止電子特氣在正常狀況下的微量泄漏或在特殊緊急狀況下的大量泄漏，造成難以彌補(bǔ)的生命財產(chǎn)損失，在使用、存儲時，必須采取適當(dāng)?shù)陌踩珜Σ?，對這些危險性氣體加以監(jiān)控，以期將災(zāi)害程度降至低。

研發(fā)背景

在現(xiàn)今半導(dǎo)體工業(yè)中，特氣檢測儀已成為*的環(huán)境監(jiān)控儀器，但是目前國內(nèi)大部分的晶圓廠使用的都是進(jìn)口產(chǎn)品。譜育科技致力于實(shí)現(xiàn)科學(xué)儀器“中國夢"，解決“卡脖子"問題，自主研發(fā)推出了GDM-2100 Series特氣檢測儀。

GDM-2100 Series是一款專門針對半導(dǎo)體行業(yè)用戶設(shè)計的特氣檢測儀，其具有高可靠性和高靈敏度的特點(diǎn)，采用*的smart sensor傳感技術(shù)，支持多種數(shù)據(jù)傳輸模式。