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七星質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品型號CS200系

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所在地成都市

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更新時間：2019-08-20 18:38:46瀏覽次數(shù)：3656次

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成都雷宇測控科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

材質(zhì)	不銹鋼	產(chǎn)地	國產(chǎn)
電壓等級	24V	防護等級	一級
工作壓力	0.1-0.4Mpa	加工定制	否
精度等級	0.1	控制方式	手動
適用介質(zhì)	氣體

七星質(zhì)量流量控制器氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計（MFM）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用。

詳細介紹

七星質(zhì)量流量控制器氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計（MFM用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 集成電路工藝設備, 如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機; 以及鍍膜設備、光纖熔煉設備、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及其它分析儀器。

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是七星流量控制器生產(chǎn)的數(shù)字型產(chǎn)品，為氣體質(zhì)量流量的控制、測量提供了高準確度及高可靠性。該型產(chǎn)品可同時支持數(shù)字信號，0～5V 模擬信號，4～20mA 或 0~20mA 模擬信號，可以使用雙電源（±8～±16 VDC ）或單電源（+14～+28 VDC）。支持自動故障報警，多氣體多量程等功能。標準開放的通訊協(xié)議為客戶自行開發(fā)控制、采集軟件提供便利。提供功能強大的免費客戶端上位機軟件Digital MFC。CS200-C 與CS200-D 產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，其中 CS200-C 金屬表面符合 SEMI 標準的要求