熱式氣體質(zhì)量流量控制器 質(zhì)量流量計(jì)
LF2000-AC 面議四川萊峰流體設(shè)備制造有限公司
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四川萊峰流體設(shè)備制造有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)LF420-FM
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地成都市
聯(lián)系方式：陽(yáng)查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2020-09-28 17:08:04瀏覽次數(shù)：324次
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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家
商鋪產(chǎn)品：53條
所在地區(qū)：四川成都市
聯(lián)系人：陽(yáng) （銷(xiāo)售）
| 材質(zhì) | 不銹鋼 | 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 防爆標(biāo)志 | 無(wú) | 工作溫度 | 5—45℃ |
| 工作壓力 | 0.1——0.5Mpa | 公稱(chēng)直徑 | 12 10mm |
| 加工定制 | 否 | 精度等級(jí) | 1 |
| 款式 | 電子帶數(shù)顯 | 量程比 | 50:1 |
| 流量測(cè)速范圍 | 3SCCM——30SLMkg/h | 適用介質(zhì) | 氣體 |
| 溫度范圍 | 中溫 | 壓力范圍 | 高壓 |
| 質(zhì)保 | 1年 | 轉(zhuǎn)換器形式 | 分體式 |
高壓力型氣體質(zhì)量流量控制器LF420-FM:質(zhì)量流量控制器（MFC）由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門(mén)和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量（無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償）。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大, 放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
高壓力型氣體質(zhì)量流量控制器LF420-FM:質(zhì)量流量控制器（MFC）由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門(mén)和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大, 放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
高壓力型氣體質(zhì)量流量控制器LF420-FM:LF系列的氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)主要用于：擴(kuò)散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及真空鍍膜設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)等制造設(shè)備中，并廣泛應(yīng)用于石油化工、制藥、冶金等行業(yè)。
高壓力型氣體質(zhì)量流量控制器LF420-FM:熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)主要的區(qū)別在于：氣體質(zhì)量流量控制器可以通過(guò)自身帶的閥門(mén)做PID調(diào)節(jié)程序，能夠自動(dòng)的調(diào)節(jié)和控制閥門(mén)的開(kāi)度，來(lái)達(dá)到控制氣體的質(zhì)量流量。氣體質(zhì)量流量計(jì)主要是通過(guò)傳感器，感應(yīng)氣體的流量大小，并輸出到數(shù)據(jù)采集器。熱式氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)的大優(yōu)點(diǎn)就是檢測(cè)出來(lái)的實(shí)際數(shù)據(jù)，不會(huì)受到溫度和壓力的影響，實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)用戶(hù)也無(wú)需在進(jìn)行溫度和壓力補(bǔ)償?shù)膿Q算。
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